Справочник химика 21

Химия и химическая технология

Статьи Рисунки Таблицы О сайте English

Испарители с малой поверхностью и точечные испарители

Рис. 25. Распределение пленки по толщине для испарителя с малой поверхностью (5) и точечного испарителя (Р). Рис. 25. <a href="/info/535277">Распределение пленки</a> по толщине для испарителя с малой поверхностью (5) и точечного испарителя (Р).

    Распределение молекул при испарении из точечного испарителя. Как было показано в предыдущем разделе, молекулы, испаряемые из малого элемента поверхности, имеют определенное распределение по углам. Гипотетически эти условия можно изменить и рассмотреть испарение молекул из бесконечно малой сферы (точечный испаритель) с площадью dAg. Снова будем считать, что скорости молекул в момент испарения распределены по максвелловскому закону. Тогда от точечного испарителя они будут двигаться во всех направлениях с равной вероятностью. Этот случай схематически иллюстрирован на рис. 12. Следовательно, скорость испарения по массе не зависит от направления, и величину массы, пере- [c.48]

    Испарители с малой поверхностью и точечные испарители. Масса вещества, достигающая подложки в точке с координатами г, ф и 0, описывается уравнениями (52) и (54). Для того, чтобы перейти от массы к тол- [c.77]

    Плотность атомов в лазерном луче. Для экспериментальных установок характерно использование точечных испарителей (или, точнее, испарителей с малыми размерами парящих поверхностей). В этом случае плотность атомов [c.384]

    Испарители с относительно малой поверхностью и точечные испарители. Существует несколько испарителей, при использовании которых распределения пленок по толщине подчиняются основным законам. Так например, плоские металлические полоски или полые вогнутые лодочки имеют косинусоидальный закон распределения [125, 126]. Даже в том случае, когда расплавленное вещество не смачивает нить и принимает сфероидальную форму, как например серебро на вольфраме, законы испарения продолжают соответствовать случаю испарителя с малой площадью. Это объясняется тем, что молекулы паров попадают на горячую поверхность нити, абсорбируются и вновь испаряются за время, соответствующее в первом приближении дебаевской частоте решетки вещества нити. Следовательно, горячая поверхность, которая не находится в контакте с конденсированной фазой испаряемого вещества, но экспонирована в его парах, может рассматриваться как дополнительная поверхность испарителя. В случае, [c.82]

    А или Ли. Растворимость этих трех металлов в молибдене и молибдена в них очень мала. Было проведено пятьдесят циклов испарений Си из одного и того же молибденового тигля, причем не было обнаружено разрушения последнего, в то время как проникновение золота в стенки молибденового тигля было обнаружено уже после примерно десяти циклов испарения. Нагреватель с джоулевым нагревом состоит из двух разрезанных пополам танталовых лент, соединенных вместе точечной сваркой (см. левую часть рис. 16). Поддерживаемый с двух концов медными зажимами, этот нагреватель имеет цилиндрическую форму и не контактирует с остальными частями испарителя. Дополнительным преимуществом перфорированного в виде змейки нагревателя из листового металла по сравнению с проволочной спиралью является большая излучающая поверхность. Вследствие применения нескольких тепловых экранов подводимой, мощности около 500 Вт вполне достаточно для испарения Си и А . Система этого испарителя обеспечивает очень стабильные скорости испарения и легко автоматизируется посредством системы обратной связи от ионизационного или кварцевого датчиков скоростей осаждения. [c.63]


    Для элемента подложки заключенного внутри пространственного угла (0, зависимость (1Аг от расстояния до испарителя и направления испарения является такой же, как и для испарителя с малой поверхностью, т. е. <1Аг = ладш/с05 0. Тогда количество массы вещества, осажденного от точечного испарителя, можно представить в виде [c.49]


Смотреть страницы где упоминается термин Испарители с малой поверхностью и точечные испарители: [c.83]   
Смотреть главы в:

Технология тонких пленок Часть 1 -> Испарители с малой поверхностью и точечные испарители




ПОИСК





Смотрите так же термины и статьи:

Испаритель



© 2025 chem21.info Реклама на сайте