Кремния двуокись как подложка

Легкость окисления поверхности раздела, несомненно, зависит от природы металла. Тем не менее даже для пленки золота, нанесенного на двуокись кремния, сцепление металла с поверхностью носителя после нагревания в кислороде увеличивается [68]. При распылении золота в присутствии кислорода также образуются пленки, прочно связанные с подложкой [69], так что отмеченное влияние кислорода носит достаточно общий характер. [c.281]

Системы окись углерода — металл были также исследованы для обнаружения влияния материала подложки на свойства нанесенных металлических катализаторов. Эйшенс и Плискин [1] показали, что отношение концентраций линейной структуры к мостиковой намного больше, когда платина нанесена на двуокись кремния, чем в случае окиси алюминия. Окись углерода на образцах с под- [c.49]

Реакция гидроизомеризации не только имеет промышленное значение, но и представляет теоретический интерес. Катализаторы, описанные для этой реакции, состоят из гидрирующего компонента типа никеля, платины и т. д., нанесенного на кислотную подложку типа двуокись кремния — окись алюминия [1] или платина на окиси алюминия, содержащей галоген [2]. В 1953 г. было сообщено [1] о подробном изучении реакции гидроизомеризации в различных экспериментальных условиях и при разном составе катализатора. [c.643]

Изящным примером сочетания исследования с помощью инфракрасных спектров поглощения с кинетическими и термодинамическими данными для определения общего механизма каталитической реакции является каталитическое разложение муравьиной кислоты. Ее разложение на никеле, нанесенном на двуокись кремния, было изучено несколькими группами исследователей, а именно Фарен-фортом с сотр. [17, 69], Кларком и Паллином [70] и Хиротой с сотр. [71]. Фаренфорт с сотрудниками идентифицировал четкие полосы при 1575 и 1360 сж как типичные для карбоксилатных ионов путем сравнения со спектром формиата никеля. Эти полосы были приписаны симметричным и несимметричным колебаниям О—С—О-группы соответственно. Эти авторы показали также, что указанные полосы отсутствуют в спектре муравьиной кислоты, адсорбированной на подложке. Образование карбоксилат-иона (полоса при 1575 СЛ" ) при комнатной температуре протекало быстрее, чем это могло быть прослежено прибором, временная характеристика которого составляла около 10 сек. Был предложен следующий механизм [c.50]

Вообще, реактивным распылением были получены пленки большого числа окислов металлов, К наиболее ранним исследованиям относится работа Хайзингера и Кёнига [97], которые получили окислы алюминия, кадмия, титана, кремния и тория. Были получены пленки других окисных соединений, таких как окись олова [98], смешанные окислы на основе свинца и теллура [99], двуокись ванадия [100], а также пленок различных стекол [101] и керамик [102], Недавние работы содержат ряд весьма интересных данных относительно влияния типа подложки на скорость нанесе- [c.440]

Облученные силоксановые пленки обладают высокой химической стойкостью к таким травителям, как едкий натр, хромовая, фосфорная (85%), соляная (35%), азотная (05%) кислоты, царская водка, но неустойчивы к серной 95%-ной кислоте. Силоксаиовыо пленки в незначительной степени растворялись в плавиковой кислоте и буферном травителе на ее основе, однако двуокись кремния толщиной 3000 А успешно травилась в этих тра-вителях без повреждения резистивных слоев. Таким образом, силоксановые резисты могут с успехом заменить обычные фоторезисты благодаря их высокой чувствительности к электронно-лучевому воздействию, химической стойкости и хорошей адгезии к материалу подложки. [c.470]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология