Дикетонаты кремния

Удобным способом получения оксидных покрытий является термораспад паров летучих (3-дикетонатов. Аморфные пленки ТЬОг толщиной до 1 мкм получали разложением паров ацетилацетоната тория в высокочастотном разряде (13 МГц) при температуре подложки (кремний, кварц) 673-773 К [227]. Оптимальные условия роста пленки достигаются при температуре источника паров ТЬ (АА) 4 423 К и давлении около 70 Па. Для удаления продуктов распада применяю откачку форвакуумным насосом. При отжиге в интервале температур 773— 1373 К аморфные пленки превращаются в поликристаллические с кубической структурой, обладающие высокими значениями коэффициента преломления и диэлектрической проницаемости. [c.185]

Сходное с катионными -дикетонатами кремния строение имеют также трополонатные ионы [( 7H502)sSi]+, в которых атом кремния связан с лигандами шестью ковалентными связями [526, 527]. [c.55]

Хорошо известны соединения шестиковалентного кремния с фтором—так называемые фторсиликаты SiF, ". Из кислородных соединений, содержащих шести ковалентный атом кремния, известны так называемые дикетонаты. [c.184]

Координационное число кремния в дикетонатах равно шести, поэтому анион галоида, который насыщает четвертую валентность кремния, расположен во внешней сфере комплекса. Комплекс играет роль катиона и вместо хлораниона связывается с другими анионами, например [c.10]