Справочник химика 21

Химия и химическая технология

Статьи Рисунки Таблицы О сайте English

распылением термическим выращиванием

    У исследователей, заинтересованных в использовании тонких пленок, имеется широкий выбор методов их изготовления, В общем случае, эти методы могут быть разбиты на два класса. Один класс объединяет методы, основанные на физическом испарении или распылении материала из источника, например термическое испарение или ионное распыление. В другом лассе собраны методы, основанные на использовании химических реакций. Сущность реакций в этом классе методов может быть различной лектрическое разделение ионов, как например при электрохимическом осаждении и анодировании, или использование тепловых эффектов, как например прн осаждении из паровой фазы и термическом выращивании в любо.м случае для окончательного формирования пленки необходимо обеспечить протекание определенных химических реакций. [c.462]


    Одним из недостатков метода термического выращивания является тот факт, что температура может повышаться до предельно допустимых значений прежде, чем пленка достигнет заметной толщины. Например, Эвиттс показал, что для того, чтобу на кремниц вырастить окисную пленку толщиной 3500. 4, потребуется температура 1106° С в течение 1 ч [19]. Этого можно избежать, используя окисление в кислородной плазме, Лигенза [13] проводил разряд с высокочастотным возбуждением в атмосфере кислорода при давлении около 0,1—1 мм. рт. ст., при этом кремний окислялся уже при температуре 300° С, а толщина пленки окисла достигала 3500 А. Если в качестве анода использовать кремний под напряжением 50 В, отрицательные ионы кислорода будут бомбардировать поверхность кремния в этом случае можно получать окисные слои, толщина которых превышает 3500 А. Надо отметить, что при этом будет иметь место и ионное распыление, однако анод можно поместить в разрядную трубку, с тем чтобы исключить возможность попадания на него распыляемых атомов. [c.486]


Технология тонких пленок Часть 1 (1977) -- [ c.187 , c.485 ]




ПОИСК





Смотрите так же термины и статьи:

Распыление



© 2025 chem21.info Реклама на сайте