Оригинал, установка для изготовления

Если линзы из органического стекла удалить (рис. 12), то оригинал можно оттенять через отверстия в апертурной пластине. Данная установка называется камерой-обскура или безлинзовой камерой. Такие камеры использовались для изготовления фотошаблонов ранее [50], однако они имеют следующие недостатки их разрешающая способность ограничена, а уменьшение рисунка оригинала необходимо проводить в две стадии (см. [c.583]

Более лучшие результаты получаются, когда для вырезания окон используют специальные установки высокой точности, называемые координатографами. Промышленные модели таких установок описаны в обзорной статье Мапла [27]. При применении координатографа вырезание можно осуществлять на координатном столике в ортогональной системе с точностью до 25 мкм. В этом случае, при изготовлении оригинала после уменьшения в 200 раз статистическая ошибка снижается до 0,1 мкм. Обычно размеры стола координатографа составляют ЮООХЮОО мм. Эти размеры вполне достаточны для изготовления большинства макетов шаблонов, когда необходимо 200-кратное уменьшение. Для получения более высоких коэффициентов уменьшения или для изготовлении макетов для схем очень больших размеров имеются координатографы с размером стола 1270Х X 1270 мм и даже более. Современные установки оборудованы счетно-решающими устройствами, что позволяет запрограммировать операцию вырезания. [c.573]

Следующим этапом в направлении автоматизации изготовления фотошаблонов является этап изготовления оригинала [46]. В установках такого типа отсутствует необходимость вырезания оригинала из листа слоистого пластического материала, а по заданной программе вычислительной машины создается непосредственно промежуточный диапозитив с уменьшением 10 1. Конструкция и принципы работы модели такой установки описаны Куком и др. [47]. В основном же она состоит из проекционной камеры с координатным столом для крепления фотографической пластины. Пучки света различного поперечного сечения комбинируются с помощью программирующего устройства, таким образом, чтобы на фотографической пластине в плоскости отверстия можно было создавать рисунки простой геометрической формы. Комбинация соответствующих пучков света вместе с перемещением стола позволяет фотографическим методом создавать полностью рисунок схемы на кристалле при 10-кратном увеличении. Конечный диапозитив уменьшается и мультиплицируется в матрицу на фотошаблоне, на 10-позиционной мультипликационной установке. [c.581]

Систематизированное изложение различных возможностей проектирования изображений на подложки, покрытые фоторезистом, впервые было проделано Шутцем и Хеннингом [68], Три основных принципа иллюстрируются На рис. 19. В каждом случае для проектирования изображения необходим увеличенный обычно в 10 раз в сравнении с конечными размерами промежуточный диапозитив. Диапозитив может быть изготовлен путем уменьшения оригинала, изготоБленного вырезанием, или непосредственно яа установке для изготовления Оригиналов с управлением от ЭВМ [см. разд. ЗА, 3)]. Выбор метода проектирования зависит от требований к разрешению и размерам рабочего поля. Как было показано на рис. 1 1, максимальное разрешение и размеры рабочего поля объективов являются в некоторой степени взаимоисключающими характеристиками, и на практике приходится выбирать компромиссное решение. Если необхо- [c.631]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология