Остаточных газов анализаторы чувствительность

Рабочие параметры анализаторов остаточных газов. Все анализаторы остаточных газов состоят из трех функциональных блоков ионизатора, анализатора и системы детектирования. Принципиальные отличия разных типов приборов относятся в основном к анализаторным блокам, в которых для разделения ионов используются различные методы. Блоки ионизации и детектирования различаются мало. Наиболее важными параметрами, характеризующими пригодность анализатора для данного частного применения, являются чувствительность, разрешение, диапазон регистрируемых масс и скорость сканирования. [c.332]

Принцип масс-спектрометрии является универсальным для измерения парциальных давлений, поскольку для основных составляющих остаточных газов Нг, N2, О2, СО, СО2 и др. имеются отдельные массовые пики, каждый из которых является мерой парциального давления соответствующего компонента. В то же время использование масс-спектральных анализаторов в качестве манометров парциальных давлений предъявляет к ним специфические требования, а именно 1) малые габариты, в частности возможность помещения внутрь исследуемой вакуумной системы, б) возможность прогрева под вакуумом вместе с исследуемой вакуумной системой, в) повыщенная чувствительность, г) умеренная разрешающая способность, д) умеренная стоимость. [c.29]

Контроль легких газов (водород, азот, окись углерода, углекислота, кислород, метан и т. д.) с мяссями дп 50— 60, где не требуется высокая разрешающая способность, а чаще нужна высокая чувствительность. Здесь весьма перспективно применение для автоконтроля динамических масс-анализаторов как более компактных, транспортабельных и удобных для обслуживания. Контроль остаточных газов в вакуумных системах при откачке, использование их в качестве течеискателей — вот практические примеры их использования. [c.40]

Измерение парциальных давлений в высоковакуумных системах осуществляется с помощью масс-спектрометров, принцип работы которых основан на разделении ионизированных молекул в зависимости от отношения массы иона к его заряду и последующем измерении соответствующих ионных токов. Масс-спектрометры, предиазначенные специально для высоковакуумных исследований, принято называть анализаторами остаточных газов (АОГ). Их отличительными особенностями являются высокая чувствительность и возможность прогрева с тем, чтобы газовыделение самого [c.331]

Как правило, масс-спектрометр работает при непрерывной откачке и постоянном натекании газа в прибор. В качестве примера рассмотрим вакуумную систему масс-спектрометра МХ-1303 (рис. 11). Высокий вакуум создается диффузионными парортутными насосами типа ДРН-10 производительностью 7—10 л1сек. Остаточное давление, достигаемое этими насосами при использовании ловушек с жидким азотом, составляет около 2-10 мм рт. ст. Один диффузионный насос используется для откачки источника ионов и прилегающей к нему части камеры анализатора. Остальная часть камеры анализатора и приемник ионов откачиваются другим диффузионным насосом. Дифференциальная система откачки позволяет значительно повысить давление анализируемого газа в источнике ионов, не повышая давления в камере анализатора, что увеличивает чувствительность масс-спектрометра без ухудигения его разрешающей способности. [c.35]