Испарители сверхвысоковакуумными системами

В сверхвысоковакуумных системах газовыделение, обусловленное испарителями, намного превышает вклад всех остальных процессов выделения газа. Все преимущество таких систем в отношении глубины вакуума оказывается совершенно бесполезным до тех пор, пока исходная чистота испаряемого вещества и материала испарителя не будут улучшены до соответствующего уровня, а методы предварительного их обезгаживания не будут отработаны до требуемого совершенства. Большая часть сверхчистых материалов, включая и тугоплавкие металлы, в настоящее время получается методом многократной зонной плавки [312]. Качество таких материалов, по-видимому, можно еще улучшить, если процессы очистки проводить в условиях сверхвысокого вакуума [313]. [c.305]

Для увеличения ресурса резистивные испарители даже в паузе между рабочими циклами необходимо поддерживать нагретыми до температур, при которых скорость испарения незначительна. Для титана этот режим соответствует плотности подводимой мощности 10—12 Вт/см . Поддержание повышенной температуры испарителя, во-первых, предотвращает термическое разрушение испарителей из-за пусковых бросков тока и, во-вторых, уменьшает количество газа, поглощаемого их поверхностью. Если такой режим неэкономичен (например, в сверхвысоковакуумных системах с очень редким включением испарителя), то увеличивать ток надо постепенно. [c.116]

При проектировании испарительных ГН должен быть вьтолнен ряд специфических требований к их конструктивному исполнению. Необходимо эффективное экранирование откачиваемой камеры, предотвращающее ее запыление геттером. Площадь экранов должна быть минимальной, поскольку они снижают КЗ. Расстояние между испарителем и поверхностью осаждения следует выбирать возможно ббльшим во избежание лучистого перегрева напыленных геттерных пленок. Насосы всегда работают в циклическом тепловом режиме тренировочный нагрев — охлаждение (зачастую до криогенных температур) — лучистый нагрев при включении испарителя амплитуда температурных скачков достигает 600 К. Поэтому длина сварных цтов — потенциально наиболее вероятных источников течей при термоциклических нагружениях -должна быть сведена до минимума. По этой же причине следует избегать конструкций со встроенными в откачиваемую камеру панелями значительной площади, охлаждаемыми жидким азотом. В таких конструкциях сварные швы имеют большую протяженность нарушение их герметичности в теплоизолирующих полостях, т. е. в элементах чисто технологического назначения, вызьшает аварийную ситуацию для вакуумной системы в целом. Такая опасность исключена, если откачиваемая сверхвысоковакуумная камера и теплоизолирующие полости герметично разделены. [c.110]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология