Отрицательные ионы выброс при ионном распылении

Чтобы выявить роль капель, образующихся при разрыве пузырей, Б формировании состава атмосферных вод, необходима постановка модельных опытов. Следует отметить, что этот механизм отличается от разбрызгивания (распыления) жидкости. При распылении жидкостей, как показал Г. Л. Натансон [28, 29], число положительных и отрицательных капель одинаково. Данные о величине зарядов подтверждают флуктуационную теорию их происхождения, в основе которой лежит механизм флуктуаций в распределении ионов при образовании капель. В этом случае не следует ожидать обогащения уносимых капель морского аэрозоля каким-либо одним ионом. Поэтому отличие состава следует искать в механизме капельного выброса при разрыве пузыря на границе раздела жидкость — газ. [c.11]

Аналогия с биллиардной игрой объясняет (по крайней мере до известной степени) предпочтительный выброс распыляемых атомов в направлениях плотной упаковки кристаллической решетки. Эту особенность ионного распыления подтвердили расчеты на ЭВМ и эксперименты, напоминающие биллиардную игру. Однако не следует упускать из вида некоторые важные различия между распылением атомов и столкновением биллиардных шаров. При больших скоростях бомбардировки нужно не только уменьшать относительные размеры биллиардных шаров, но и помнить, что эти шары уже не являются твердыми сферами и не могут оставаться неповрежденными . Некоторые атомы, особенно в случае металлических поверхностей, загрязненных адсорбированными примесями, или в случае диэлектрических мишеней, могут испускаться в возбужденном состоянии или в виде отрицательных или положительных ионов. Вследствие этого существует разница, которую часто не замечают, между ионно-лучевым распылением в отсутствие электрического поля и ионно-плазмеин1, м распылением, при котором мишень находится под отрицательным потенциалом относительно окружающей ее плазмы. В последнем случае испускаемые положительные ноны возвращаются обратно на мишень, тогда как отрицательные ионы (как и вторичные электроны) ускоряются в направлении от поверхности мишени. Эти отрицательные ионы (часто кислород или углеводороды) могут вызвать вторичное распыление материала на подложке или где-либо в устройстве, куда они еще могут попасть. Масс-спектрометрический анализ положительных ионов, выбитых из мишени путем ионно-лучевого распыления, обнаружил удивительное и еще не объясненное явление часто многие из распыленных ионов представляют собой целые заряженные скопления атомов, [c.355]

Рассеяние энергии и контроль температуры подложки. Хотя ионное распыление представ.ляет собой по существу низкоте.мпературный процесс, однако побочным его результатом является выделение значительных количеств энергии, которое может привести к существенному и, как правило, нежелательному повышению те.мпературы в распылительной системе, еслп, конечно, не будут приняты меры по эффективному отводу избыточной тепловой энергии. На выброс распыляемого. материала и вторичных электронов идет менее I % всей прикладываемой мощности. Около 75% остальной, непроизводительной мощности выделяется в виде теп.ла на катоде при бомбардировке его ионами и быстрыми нейтральными атомами. Кроме того, мощность передается вторичным электронам, когда они ускоряются в катодном темном пространстве, а затем переходит в тепло при соударениях этих электронов с подложкой. Если же на подложку подать достаточно большой отрицательный потенциал, чтобы отталкивать быстрые вторичные электроны, подложка разогреется еще сильнее, поскольку будет в этом случае притягивать соответствующее число положительных ионов. Таким образом. [c.423]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология