Ловушки конденсационно-сорбционные

Конденсационно-сорбционные ловушки. При сверхвысоком вакууме ловушки, охлаждаемые ожиженными газами, пе улавливают все нежелательные примеси, попадающие в объем прн работе масляных насосов. Желательно вообще исключить применение диффузионных паромасляных и фор-вакуумных масляных насосов, чтобы гарантировать отсутствие масляных [c.341]

Сверхвысоковакуумные установки для напыления фирмы Эдвардс (Англия) с диаметром камеры 355 мм дают возможность получать давление 5 10 мм рт. ст. Камеру изготовляют из коррозионностойкой стали, допускающей высокотемпературный прогрев. В рабочей камере предусмотрены специальные отверстия с фланцами для присоединения криогенного насоса, датчика ионизационного манометра, масс-спектрометра и других необходимых устройств. Криогенный (конденсационный) насос (см. рис. 378) опускают в камеру через отверстие, расположенное сверху. Вся система откачивается распылительно-ионным и титановым сублимационным насосами, предварительная откачка производится либо последовательно соединенными сорбционными насосами, либо двухступенчатым вращательным насосом с ловушкой. Мощность печи для прогрева камеры порядка 6,75 кВт. Нормальная температура прогрева 300° С, а при наличии прокладок из золота может достигать 400° С. [c.236]

Насосы, позволяющие достигать столь низких давлений, это в первую очередь диффузионные масляные насосы со специальными ловушками и ртутные диффузионные насосы, затем молекулярные, ионные, сорбционные, геттерные, геттероионные и конденсационные насосы. [c.398]

Конденсационно-сорбционные ловушки. При сверхвысоком вакууме ловушки, охлаждаемые ожиженными газами, не улавливают всех нежелательных примесей, попадающих в объем при работе масляных насосов. Различные схемы откачки имеют своей целью вообще исключить применение диффузионных паромасляных и форвакуумных масляных насосов для того, чтобы гарантировать отсутствие масляных паров в области сверхвысокого вакуума. Однако в некоторых случаях можно преодолеть это затруднение применением конденсационно-сорбционной ловушки. Ряд авторов предлагают различные конструкции ловушек, которые, по их мнению, обеспечивают полное улавливание паров масла. Принцип действия таких ловушек тот же, что и сор бционных насосов. Если применить в такой ловушке яспарение титана, то благодаря высокой сорбционной способности распыленного титана, в особенно- сти при низких температурах, слой титана будет интенсивно поглощать метан, водород, окись углерода, аргон и другие газы. [c.426]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология