Титановый сублимационный насос

Рис. 359. Титановый сублимационный насос фирмы Эдвардс (Англия)

В случае, когда вакуумно-технологический процесс сопровождается выделением больших количеств водорода, целесообразно применять титановые сублимационные насосы. Эти насосы не откачивают инертные газы и поэтому их следует применять там, где откачка этил газов не является обязательной. [c.119]

Сверхвысоковакуумные установки для напыления фирмы Эдвардс (Англия) с диаметром камеры 355 мм дают возможность получать давление 5 10 мм рт. ст. Камеру изготовляют из коррозионностойкой стали, допускающей высокотемпературный прогрев. В рабочей камере предусмотрены специальные отверстия с фланцами для присоединения криогенного насоса, датчика ионизационного манометра, масс-спектрометра и других необходимых устройств. Криогенный (конденсационный) насос (см. рис. 378) опускают в камеру через отверстие, расположенное сверху. Вся система откачивается распылительно-ионным и титановым сублимационным насосами, предварительная откачка производится либо последовательно соединенными сорбционными насосами, либо двухступенчатым вращательным насосом с ловушкой. Мощность печи для прогрева камеры порядка 6,75 кВт. Нормальная температура прогрева 300° С, а при наличии прокладок из золота может достигать 400° С. [c.236]

Рис. 241. Схема титанового сублимационного насоса [56]

I — цилиндрический экран 2 — задний экран 3 — ионные насосы 4 — змеевик геттера 5 — титановый сублимационный насос 6 — пневматический клапан 7 — ловушка с жидким азотом 8 — двухроторный насос 9 — форвакуумный насос 0, 13 — экраны // — отвод для солнечного имитатора 12 — кварцевое окно [c.306]

Иногда дополнительная криогенная поверхность сравнительно небольшой величины, охлаждаемая жидким азотом, включается в работу после достижения давления 5-10 мм рт. ст., благодаря чему быстро достигаются давления—10 мм рт. ст., нужные для работы сорбционно-ионного и титанового сублимационного насосов. [c.306]

Фирма Эдвардс (Англия) выпускает титановые сублимационные насосы, которые работают совместно с диффузионными или сорбционно-ионными распылительными насосами в установках для получения сверхвысокого вакуума. Газ откачивается благодаря сублимации титана с нити накала и конденсации его на поверхности, охлаждаемой водой или жидким азотом. Скорость откачки сухого азота составляет от 1,5 до 2,5 л/с на 1 см поверхности при охлаждении ее водой и примерно в 2 раза больше при охлаждении жидким азотом. Водяной пар и конденсирующиеся газы удаляются таким насосом с большой скоростью. На рис. 359 показан насос фирмы Эдвардс. [c.416]

Серийные ионно-распылительные насосы хотя конструктивно и отличаются друг от друга, но тем не менее имеют почти одинаковые рабочие характеристики. Для нескольких моделей кривые откачки опубликованы Миллероном [23]. Вследствие зависимости быстроты откачки от рода газа, области рабочих давлений и предыстории насоса, провести объективное сравнение насосов оказалось трудно. Влияние этих факторов исследовал Эндрю [157J. Кривая откачки для воздуха, представленная на рис. 33, является типичной, поскольку на ней видны участки перехода от промежуточных к низким давлениям с максимумом около Ш мм рт. ст. Постепенное снижение быстроты откачки при переходе в область очень низких дав лений может быть скомпенсировано включением в работу одновременно титанового сублимационного насоса. Инертные газы, такие как аргон, откачиваются менее эффективно, чем химически сорбируемые компоненты. Быстрота откачки серийных насосов оценивается для воздуха по максимуму при 10 мм рт. ст. Этот параметр стандартных насосов варьируется от 1 до 1200 л-с-1, но есть сообщения как о менее, так и о более производительных моделях. Быстрота откачки всех прочих, кроме воздуха, газов выражается в процентах по отношению к этому параметру для воздуха. В табл. 6 представлены данные, наиболее часто встречающиеся в литературе. [c.218]

Сверхвысоковакуумная откачная установка ЕВО-400 фирмы Ульвак (Япония), создающая предельное давление 5-10" мм рт. ст., рекомендуется для изучения трения, испарения, радиации и усталости материалов в условиях, подобных условиям космоса. Эта откачная система является примером безмасляной откачки. Система полностью изготовлена из металла и может прогреваться. Прокладки изготовляют из алюминиевой фольги. Откачка до сверхвысокого вакуума производится сорбционно-ионным и титановым сублимационным насосами. Для предварительной откачки применены два сорбционных насоса и вращательный насос для быстрого создания вакуума от атмосферного давления. [c.307]

При производстве тонкопленочньк солнечных элементов большую роль играет вакуумная технология. Вакуумное оборудование необходимо, например, при физическом осалодении из паровой фазы - вакуумном испарении. Вакуумная система содержит диффузионные и вспомогательные форвакуумные насосы и должна обеспечивать давление 10 " -10 Па. Такая система наиболее часто используется для создания тонких пленок в основном благодаря небольшой стоимости, простоте и высокой скорости откачки. При использовании в диффузионных насосах специальных масел (например, полифенилового эфира), криогенных отражателей и полностью металлической конструкции в системе достигается сверхвысокий вакуум с давлением в диапазоне 10 -10 Па. Другая стандартная сверхвысоковакуумная система основана на применении ионно-распьшительного насоса в сочетании с сорбционными и вспомогательными титановыми сублимационными насосами. [c.47]

Применение нераспыляемого геттера совместно с магниторазрядными и титановыми сублимационными насосами позволило улучшить вакуумные характеристики электронно-позитронного накопительного кольца синхротрона Photon Fa tory в Японии и получить давление 10 Па [6]. [c.58]

В Токийском исследовательском институте средств связи недавно разработана эффективная технология полирования до зеркального блеска поверхностей из алюминиевых сплавов, получившая название органо-механохимическое полирование (ОМХП) [9]. В вакуумной камере, внутренние поверхности которой были отполированы методом ОМХП, было достигнуто давление 1,5-10 Па после 48 часов откачки тандемом из двух турбомолекулярных насосов с быстротой действия 340 л/с и 60 л/с. При откачке камеры турбомолекулярными насосами в сочетании с титановым сублимационным насосом давление снизилось до 4,9-10 " Па. [c.61]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология