Основные требования вакуумной гигиены

Основные требования вакуумной гигиены.......377 [c.8]

ОСНОВНЫЕ ТРЕБОВАНИЯ ВАКУУМНОЙ ГИГИЕНЫ [c.377]

В отношении трубопровода основным требованием вакуумной гигиены являются его исправность и содержание в чистоте как внешней, так и особенно внутренней его поверхностей. Большого внимания к себе требует состояние кранов они нуждаются в периодическом обновлении смазки, иначе возникает опасность натекания через краны, так как смазка с течением времени подсыхает и в пространстве между притертыми поверхностями могут образоваться зазоры. Перед промазыванием кранов необходимо прежде всего тщательно смыть старую смазку соответствующим растворителем, причем нельзя допускать проникновения растворителя в трубопровод в жидком виде при нанесении смазки необходимо также заботиться о том, чтобы после соединения притертых поверхностей смазка не выходила за их пределы и не закрывала отверстий крана. Если смазка будет иметь большую поверхность испарения внутрь вакуумной системы, последняя будет загрязнена ее пара- [c.379]

В отношении насосов основные требования вакуумной гигиены сводятся к содержанию в чистоте рабочих жидкостей. Масло во вращательных насосах загрязняется главным образом влагой, постепенно накапливающейся в нем от прогрева стекла в процессе откачки. Масло в пароструйных насосах может изменить свой состав в сторону увеличения содержания более летучих фракций. В связи с этим в зависимости от сорта масла, конструкции насосов и степени загруженности вакуумной системы производится более или менее частая периодическая замена масла свежим с одновременной промывкой деталей насосов (обычно бензином или бензолом) и последующей затем их просушкой. [c.380]

Таким образом, основные требования электронно-вакуумной гигиены в производстве полупроводниковых приборов и ИМС сводятся к соблюдению строжайшей чистоты на всех операциях технологического процесса и устранению опасностей, которые могут ее нарушить. [c.103]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология