Сканирующий микроскоп обратного рассеяния

Сканирующий микроскоп обратного рассеяния [c.84]

Растровый (сканирующий) электронный микроскоп включает следующие основные узлы катод, испускающий электроны, электромагнитные линзы для сбора излучения, детектор электронов и систему электроники для формирования изображения [10]. Электроны фокусируются в тонкий электронный зонд диаметром менее 10 нм, которым поверхность образца построчно сканируется. При взаимодействии узкого электронного пучка с поверхностью образца он испускает излучение видимого и рентгеновского диапазона, приводящее к обратному рассеянию. Прибор позволяет получать объемное изображение объекта, поразительно сходное с изображением при освещении светом и наблюдении глазом, так как испускаемые вторичные электроны достигают детекторной системы по кривым траекториям, воспроизводя изображение даже тех частей объекта, которые находятся в тени . [c.357]

Рентгеновский эмиссионный анализ можно осуществить в электронном микроскопе, присоединив рентгеновский спектрометр это позволяет исследовать обратно рассеянные рентгеновские лучи в сущности, микроскоп в данном случае функционирует как микрозонд. Его пространственное разрешение определяется диаметром падающего пучка электронов, который в обычном электронном микроскопе превышает 0,5 мкм. Это значительно больше, чем диаметр пучка электронного микрозонда или сканирующего электронного микроскопа, где применяется другая электронно-оптическая система и диаметр пучка может достигать 2 нм. Однако разрешение, соответствующее такому малому диаметру пучка, получить не удается, так как рентгеновские лучи испускаются областью, размер которой определяется длиной пути возбуждающего электрона без потери энергии до значения, равного или меньшего критическому значению испускания рентгеновских лучей. На практике для электронного микрозонда или сканирующего электронного микроскопа энергия возбуждающих электронов составляет 5—30 кэВ и рентгеновские лучи испускаются подповерхностной областью объемом [c.399]

Электронная микроскопия. Электронные микроскопы, которыми в настоящее время оснащен каждый исследовательский центр, подразделяются на два типа. В растровых электронных микроскопах, называемых также сканирующими, пучок электронов фокусируется в тонкий луч, диаметр которого у поверхности может составлять менее 10 нм. Видимое изображение получается путем регистрации одного из вторичных сигналов — обратно рассеянных [c.209]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология