Обратное натекание паров из вакуумных насосов

Проблема обратного потока паров масла обычно решается установкой ловушек на линии предварительной откачки. Они могут действовать либо за счет коденсации паров на поверхностях, охлаждаемых жидким азотом, либо за счет адсорбции на поверхностно-активных материалов. Устройство адсорбционной ловушки в линии предварительной откачки показано на рис. 3. Для восстановления адсорбционной емкости сорбирующего материала ловушка должна периодически прогреваться. Холлэнд с сотрудниками [13 14]. провели сравнительные испытания на откачку для сист< м с ловушка.ми различных типов. Они обнаружили, что без ловуи ки скорость обратного натекания оказалась порядка 10 г см- с . Ловушка на жидком азоте уменьшила скорость натекания до значения, меньшего 0,1% ее величины для случая отсутствия ловушки. Адсорбционные ловушки на основе окиси алюминия оказались лучшими сравнительно с ловушками на основе цеолита или гранул активизированного древесного угля. Они сокращают обратное натекание на 99%, уменьшая при этом на 10—20% быстроту откачки. Как оказалось, при использовании для поддержания рабочего режима диффузионного насоса вращательного масляного насоса, пары последнего достигают вакуумной камеры, распро- [c.182]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология