Распыленных частиц угловое распределение

Вопрос об угловом распределении эмиттированных частиц из поли-кристаллического материала вновь серьезно рассматривался лишь спустя приблизительно 25 лет. Венер и Розенберг [82] изучали угловое распределение частиц, выбиваемых из поликристаллических мишеней ионами ртути с энергией 100—1000 эВ при нормальном падении. При высоких энергиях ионов угловое распределение было близким к закону косинуса, однако при низких энергиях ионов в направлении нормали к поверхности мишени выбивалось меньше атомов, чем следует из закона косинуса. Это отклонение от закона косинуса, по-видимому, более явно выражено для Мо и Fe. чем для Ni или Pt. Кроме того, при наклонном падении ионов было замечено, что выброс распыляемого материала значительно более интенсивен в прямом направлении, близком к направлению падения (и удаленном от нормали к поверхности). Коэдам [83], исследовавший распыление поликристаллического серебра ионами Ne+, Аг+ и Кг+ с энергией 100— 250 эВ, установил, что угловое распределение подчиняется закону косинуса. С другой стороны, Рол и др. [84] обнаружили, что распределение материала, распыляемого с поверхности поликристаллической меди ионами аргона с энергией 20 кэВ, лучше описывалось распределением Гаусса, чем кривой косинуса. Они также отметили, что угловое распределение по существу не зависело от угла падения ионов. Гронлунд и др. [85] облучали серебро ионами Ne+ с энергией 4 кэВ под углом 60° и получили косинусное распределение эмиттированных частиц. При облучении мишени ионами D+ с энергией 9 кэВ под углом 60° они также наблюдали в основном косинусное распределение, за исключением того, что больше материала, по-видимому, распылялось в прямом направлении. В своих экспериментах они уделили особое внимание получению тщательно отполированных поверхностей мишени. Они считали, что это необходимо, так как предполагали, что рассеяние на грубо обработанной поверхности всегда будет давать косинусное распределение. Влияние температуры, дозы ионного облучения и массы ионов на угловое распределение эмиттированных атомов исследовали Кобич и Перович [86], которые облучали медь и свинец ионами Аг+, Кг+ и Хе+ с энергией 17 кэВ. Они сообщили, что обнаружили температурную зависимость углового распределения распыленного материала. При более высоких температурах (- 100°С) наблюдалось косинусное распределение. Когда же мишень охлаждалась с помощью воды или жидкого азота, то было установлено, [c.384]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология