Кремний, влияние его содержания и стали

Существенное влияние на проявление негативного резиста оказывают температура и наличие влаги в растворителе [4]. Еще сильнее это проявляется у позитивных резистов, для большинства которых добиваются различной растворимости экспонированных и неэкспонированных полимерных слоев с одинаковой ММ. Присутствие воды в растворителях при проявлении негативных резистов может стать причиной возникновения вуали, особенно на поверхности диоксида кремния, который адсорбирует воду в процессе проявления в местах, где локальная концентрация полимера в проявляющем растворе как раз наибольшая. Промышленные растворители, такие, как ксилол и бензин, имеют непостоянное содержание воды, но и относительно сухие растворители могут абсорбировать влагу из воздуха. Избирательная сорбция воды может приводить к ее диффузии в сшитые участки слоя резиста и к поверхности диоксида кремния и снижать тем самым адгезию этих слоев. [c.50]

Стабилизирующее влитие двуокиси кремния на алюминат-ную структуру, очевидно, должно зависеть от четырех факторов, а именно от относительных размеров мицелл, количества присутствующей окиси алюминия, pH влажной смеси гелей и основ-яости стабилизирующих положительных ионов. Рассмотрение первого из этих факторов выходит за пределы настоящей статьи, хотя в литературе и имеется значительное количество данных, показывающих, что частицы в смесях алюмосиликатных гидрогелей очень малы. До сих пор не имеется метода, позволяющего дифференцировать частицы в смесях двуокиси кремния и окиси алюминия и определить относительные размеры частиц этих окисей. Влияние других факторов в достаточной степени демонстрируется приведенными здесь данными. Увеличение содержания окиси алюминия уменьшает общую величину поверхности раздела двуокись кремния — окись алюминия на данное количество окиси алюминия, содержащейся в смешанном геле, и таким образом приводит к уменьшению эффективной стабилизирующей площади. Для гелей, содержащих около 15% окиси алюминия, способность слабых оснований, подобных иону аммония, поддерживать алюминатную структуру (ЫН4А102) подавляется при pH < 6. При этих условиях окись алюминия начинает приобретать свою нормальную кристаллическую структуру, т. е. струк- [c.226]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология