Зондовый метод искровой масс-спектрометрии (ИМС) и его аналитические возможности

ЗОНДОВЫЙ МЕТОД ИСКРОВОЙ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИИ (ИМС) И ЕГО АНАЛИТИЧЕСКИЕ ВОЗМОЖНОСТИ [c.117]

В гл. 4 (автор М. С. Чупахин) речь идет об аналитических возможностях зондового метода в искровой масс-спектрометрии. Искровая масс-спектрометрия является многоэлементным методом анализа. С ее помощью удается в течение одного эксперимента определить до 70—80 примесей в высокочистых веществах с низкими границами определяемых концентраций. Основной недостаток элементной масс-спектрометрии — невысокая правильность получаемых результатов. Автор рассматривает пути устранения этого недостатка и делает заключение, что для компактных непроводящих веществ разработанный зондовый метод обеспечивает получение высокой правильности результатов без использования стандартных образцов. Масс-спектрометрические данные были получены с использованием ЭВМ. [c.6]

Одним из наиболее интересных способов анализа поверхно- сти твердых тел и тонких пленок (а также других образцов) является метод, в котором для распыления и ионизации вещества используется пучок так называемых первичных ионов. Вторичные ионы, выбитые с поверхности образца, анализируются при помощи масс-спектрометра. Этот метод позволяет получить примерно такое же пространственное разрешение, как и в элек-тронно-зондовом микроанализе, и в то же время обладает высокой чувствительностью, характерной для масс-спектрометрии с искровым источником ионов. Приборы с ионной бомбардировкой различных фирм отличаются конструктивным оформлением и аналитическими возможностями. Они будут рассмотрены здесь примерно в том же порядке, как и происходило их развитие. [c.410]