Ионизации ток анализаторах остаточных газов

Рабочие параметры анализаторов остаточных газов. Все анализаторы остаточных газов состоят из трех функциональных блоков ионизатора, анализатора и системы детектирования. Принципиальные отличия разных типов приборов относятся в основном к анализаторным блокам, в которых для разделения ионов используются различные методы. Блоки ионизации и детектирования различаются мало. Наиболее важными параметрами, характеризующими пригодность анализатора для данного частного применения, являются чувствительность, разрешение, диапазон регистрируемых масс и скорость сканирования. [c.332]

Интерпретация спектров остаточных газов. Поскольку анализатор остаточных газов разделяет ионы согласно отношению массы иона к его заряду, то результирующий спектр масс должен быть отождествлен с исходными газами. Неоднозначность появляется в случаях, когда разные молекулы имеют одинаковую массу. Эта трудность может быть преодолена, если принять во внимание специфические для каждого типа газа процессы диссоциации или двойной ионизации молекул. Фракция частиц, которая в условиях масс-спектроскопического анализа диссоциирует или дважды ионизируется, довольно стабильна. Поэтому интенсивность пиков, обусловленная этой фракцией, строго пропорциональна интенсивности основных пиков для данной массы. Получающаяся в результате серия пиков для данного газа называется масс-спектрометрическим эталоном. [c.337]

Принцип работы всех масс-спектрометрических преобразователей, устанавливаемых непосредственно на испытуемом высоковакуумном объекте, основан на детектировании ионов остаточного газа, число которых пропорционально его концентрации. В масс-спектрометрических преобразователях молекулы анализируемого газа ионизируются в ионном источнике. Образовавшиеся положительные ионы вытягиваются из камер ионизации, фокусируются в параллельный пучок и направляются в масс-спектрометрический анализатор, где под действием электрического или магнитного полей разделяются в пространстве (или во времени) по характерному для них отношению массового числа М к его заряду е. После разделения ионы с определенным М, на которое настроен масс-спектрометр, попадают на коллектор и создают в его цепи силу тока, пропорциональную парциальному давлению соответствующего газа. [c.77]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология