Испарители ионно-испарительными насосами

Отечественной промышленностью выпускается целая серия испарительных геттерных насосов различных типов. Среди них геттерно-ионные насосы ГИН-0,5М1, ГИН-2, ГИН-5, имеющие быстроту действия по воздуху в диапазоне 10 —10 Па соответственно 450, 1800 и 4500 л/с, а предельное остаточное давление менее 10" Па. Охлаждение насосов водяное. Испарители — прямонакальные. Насосы поставляются комплектно с блоком питания. [c.59]

Иокно-испаритедьные насосы. Принципиальное отличие иовно-испарительных от ионно-распылительных насосов заключается в том, что в первом функции получения паров металла и ионизации газа разделены, а во втором они совмещены. В испарительных насосах ионы получаются в результате столкновений атомов газа с электронами, эмиттированными раскаленной вольфрамовой нитью и ускоренными электрическим полем. Ионы внедряются в отрицательно заряженные стенки насоса, являющиеся также подложкой для геттерирующей пленки металла. Насосы этого типа впервые были описаны Хербом с сотрудниками [114, 140]. Один из первых вариантов таких насосов представлен схематически на рис. 27. Потенциал внешней сетки, за счет которого ионы инертного газа ускоряются по направлению к стенке, равен — 500 В. Титан напыляется при непрерывной подаче проволоки в раскаленный испаритель. Насосы такой конструкции имеют размеры от 2,5 до 60 см в диаметре и быстроту откачки до 10000 л. с 1 [141]. Номинальная быстрота откачки относится к газам, [c.212]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология