Испарительные ионные насосы

Рис. 13. Ионно-испарительный насос

Ионно-испарительные насосы..................212 [c.175]

Остаточные газы, обнаруживаемые в ионно-испарительных системах, обусловлены главным образом процессами обезгаживания стенок камеры. В непрогреваемых вакуумных системах, откачиваемых такими насосами, предельное давление составляет 10 — 10 мм рт. ст. [115]. За исключением отсутствия высоких углеводородов спектр остаточных газов в этом случае аналогичен спектру для систем с откачкой диффузионным насосом. При этом в состав атмосферы остаточных газов входят преимущественно пары воды, а также N2, СО, Аг, СН4, На [16, 145]. В прогреваемых вакуумных системах с ионной откачкой, пригодных для получения вакуума 3-10 мм рт. ст., в состав остаточных газов входит прежде всего водород с менее значительными добавками СО, Н2О и СН4 [123]. Газы, захваченные насосом ранее, не выделяются в сколь-нибудь заметных количествах, поскольку энергии ионов в испарительных насосах недостаточно великн для того, чтобы вызвать сильные эффекты памяти . Присутствие низших углеводородов, таких как СН или С2Н6, обусловлено реакцией на поверхности между водородом и углеродом, содержащимся в качестве примесей в стенках насоса [146]. [c.215]

Отечественной промышленностью выпускается целая серия испарительных геттерных насосов различных типов. Среди них геттерно-ионные насосы ГИН-0,5М1, ГИН-2, ГИН-5, имеющие быстроту действия по воздуху в диапазоне 10 —10 Па соответственно 450, 1800 и 4500 л/с, а предельное остаточное давление менее 10" Па. Охлаждение насосов водяное. Испарители — прямонакальные. Насосы поставляются комплектно с блоком питания. [c.59]

Значительно большую перспективу промышленного применения имеет ионно-испарительный (ионно-сорбционный) насос, в котором откачка достигается в результате непрерывного процесса поглощения газа за счет испарения и конденсации на стенках насоса титана, причем процесс поглощения активизируется благодаря частичной ионизации откачиваемого газа. [c.28]

ИСПАРИТЕЛЬНЫЕ ИОННО-ГЕТТЕРНЫЕ НАСОСЫ [c.119]

Быстрота откачки ионно-испарительных насосов [c.213]

Из вакуумных насосов наибольшее распространение имеют вращательные масляные насосы, создающие разрежение около 10 3 мм рт. ст. и пароструйные насосы, с помощью которых может быть получено разрежение до 10 мм рт. ст. Еще более низкие давления (до 10 —10 мм рт. ст.) могут быть получены при использовании ионных и ионно-испарительных насосов. [c.11]

В настоящее время известны ионно-испарительные насосы с быстротой действия до 10 тыс. л/сек (по водороду). [c.29]

То же явление — активное поглощение газа путем ионизации его с одновременным испарением какого-либо вещества — использовано в так называемых ионно-испарительных насосах (см. 5-7). [c.160]

Высоковакуумные насосы работают в области давлений 10 —10 Па, сверхвысоковакуумные—в области давлений ниже 10 Па. К ним относятся молекулярные диффузионные паромасляные, диффузионные парортутные, турбомолекулярные, сорбционные (испарительные геттерные, электродуговые гет-терные, ионно-геттерные, магнитные электроразрядные) и криогенные насосы. Таким образом, для получения высокого и сверхвысокого вакуума могут использоваться насосы одинакового типа. [c.88]

ИСПАРИТЕЛЬНЫЕ ГЕТТЕРНЫЕ И ИОННО-ГЕТТЕРНЫЕ НАСОСЫ С ТЕРМИЧЕСКИМ НАПЫЛЕНИЕМ ГЕТТЕРНЫХ ПЛЕНОК [c.86]

Геттерные (хемосорбционные) насосы с возобновляемой пленкой титана по способу ее осаждения делятся на два типа геттерно-испарительные и магниторазрядные. Сорбционно-ионные насосы снабжены ионизирующими устройствами для усиления откачки инертных газов, азотитные насосы оснащены охлаждаемыми жидким азотом поверхностями для использования низкотемпературной сорбции и т. д. [c.47]

Характеристики одного из образцов ионно-испарительного насоса, у которого потребляемая мощность 1 кет и расход титана 7 мг1мин, приведены в табл. 2. [c.29]

Таблица 3.10. Основные характеристики испарительных ионно-геттерных насосов серии ГИН средней пронзводителыюсти

Иокно-испаритедьные насосы. Принципиальное отличие иовно-испарительных от ионно-распылительных насосов заключается в том, что в первом функции получения паров металла и ионизации газа разделены, а во втором они совмещены. В испарительных насосах ионы получаются в результате столкновений атомов газа с электронами, эмиттированными раскаленной вольфрамовой нитью и ускоренными электрическим полем. Ионы внедряются в отрицательно заряженные стенки насоса, являющиеся также подложкой для геттерирующей пленки металла. Насосы этого типа впервые были описаны Хербом с сотрудниками [114, 140]. Один из первых вариантов таких насосов представлен схематически на рис. 27. Потенциал внешней сетки, за счет которого ионы инертного газа ускоряются по направлению к стенке, равен — 500 В. Титан напыляется при непрерывной подаче проволоки в раскаленный испаритель. Насосы такой конструкции имеют размеры от 2,5 до 60 см в диаметре и быстроту откачки до 10000 л. с 1 [141]. Номинальная быстрота откачки относится к газам, [c.212]

Изображенный на рис. 13 ионно-испарительный насос представляет собой вертикальную цилиндрическую камеру, стенки которой охлаждаются водой, непрерывно циркулирующей по змеевику. По оси камеры расположена катушка с титановой проволокой, которая непрерывно разматывается с помощью специального подающего механиэма. Проходя через кольцеобразную нить накала (которая имеет отрицательный потенциал относительно проволоки), титановая проволока интенсивно бомбарда-руется электронами, эмитируемыми нитью накала, и почти мгновенно испаряется (в других конструкциях насосов испарение титана осуществляется за счет его соприкосновения с графитовым стержнем, разогреваемым до высокой температуры в результате электронной бомбардировки). [c.28]

Существенным недостатком ионно-испарительного насоса является сложность устройства и эксплуатации, а также резко выраженная завиш1мость его быстроты действия от рода откачиваемого газа. [c.30]

Еще одна модификация испарительных насосов с электронными траекториями большой протяженности — безмагнитный квадрупольный ИГН. В цилиндрическом корпусе - коллекторе ионов, стенки которого запыляются геттерной пленкой, параллельно оси устанавливаются четыре стержневых или имеющих в сечении гиперболическую форму электрода. Межцу этими электродами возбуждается высокочастотное электрическое поле. На одном из торцов электродной системы монтируется термоэлектронный эмиттер. Анод имеет форму кольца, охватывающего квадруполь в его центральном сечении. Между эмиттером и анодом создается постоянное электростатическое поле. Электроны, эмитируемые катодом, ускоряются постоянным электрическим полем до срединного сечения квадруполя. Траекто жя их движения — спираль с переменным шагом. На второй половине пути электроны, также двигаясь по спирали, замедляются. Этот процесс многократно повторяется, так что электроны, прежде чем попасть на анод, проделывают большой путь, на котором осуществляется ударная ионизация молекул газа. Благодаря этому внутри квадруполя формируется устойчивый плазменный сгусток. Поступающие туда молекулы газа ионизируются и, попадая на стенки, поглощаются геттерной пленкой. [c.129]

Эффективность систем откачки на основе МЭРН удается заметно повысить, применяя комбинированные ионно-геттерные насосы. В этих насосах в одном корпусе совмещены испарительный и магниторазрядный откачные блоки, в результате чего на распыляемые пленки геттера попадает значительное число возбувденных в разряде молекул газа, [c.214]

Саксаганский Г.Л. Испарительные геттерные и ионно-геттерные насосы Обзорная информация. Сер. ХМ-6. М. ЦИНТИХимнефтемаш, 1988. [c.269]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология