Насосы геттерно-ионные

Рис. 45. Схема геттерно-ионного титанового насоса

Хемосорбция (активных газов) и блокирование (инертных газов) лежат в основе работы геттерно-ионных насосов и их многочисленных разновидностей. В них отсутствует масло и это является их важным преимуществом. Поглощающим веществом служит свежеосажденный на внутреннюю полость слой титана, тита-но-молибденового сплава или хрома, полученный при сублимационном, электронно-лучевом или ионном распылении. В последнем варианте насосы называются электроразряд-ными. Процесс откачки геттерно- [c.135]

Недостатком геттерно-ионных насосов является также и то, что откачиваемые газы не удаляются из объема насоса, а остаются в связанном состоянии на его внутренних стенках. Наличие на стенках насоса газовых пленок создает условия для возникновения многочисленных объемных реакций, в результате которых ранее сорбированные газы в определенных условиях могут вновь выделяться и повышать давление в системе. На практике часто именно эти процессы определяют конечный вакуум геттерно-ионных насосов. [c.104]

Рис. 23. Схема геттерно-ионного орбитронного насоса

В качестве ионизируемого газа используют аргон, как наиболее дешевый из инертных газов. Надо учитывать, что вакуумные насосы при ионном распылении работают в атмосфере аргона, поэтому обычно не применяют геттерно-ионные и электроразрядные насосы, плохо откачивающие инертные газы. Однако в принципе возможно и другое решение откачку проводить именно электроразрядным насосом, оставляя в камере атмосферный аргон. [c.146]

Отечественной промышленностью выпускается целая серия испарительных геттерных насосов различных типов. Среди них геттерно-ионные насосы ГИН-0,5М1, ГИН-2, ГИН-5, имеющие быстроту действия по воздуху в диапазоне 10 —10 Па соответственно 450, 1800 и 4500 л/с, а предельное остаточное давление менее 10" Па. Охлаждение насосов водяное. Испарители — прямонакальные. Насосы поставляются комплектно с блоком питания. [c.59]

Скорость откачки воздуха в диапазоне давлений 10 —мм рт. ст. для насоса ГИН-05 составляет 400 л/сек. Подключение небольшого паромасляного диффузионного насоса увеличивает скорость откачки на 25—30%. Характерно, что проведенный при этом масс-спектрометрический анализ остаточных газов показывает отсутствие в рабочем объеме следов рабочей жидкости или продуктов ее крекинга, что, по-видимому, объясняется термическим разложением паров рабочей жидкости в геттерно-ионном насосе с последующим поглощением продуктов разложения. [c.102]

Было установлено, что сорбционные свойства пленок молибдена и нержавеющей стали при температуре —196° С практически близки к сорбционным свойствам иодидного титана. Вместе с тем оба эти металла легкодоступны и имеют значительно меньшую стоимость по сравнению с титаном, что делает их перспективными для использования в охлаждаемых геттерно-ионных насосах. Кроме того, нержавеющая сталь имеет более низкую температуру начала заметного испарения и требует меньшей мощности для испарения, чем титан. Для повышения сорбционной емкости пленок при обычных температурах нержавеющая сталь может применяться совместно с небольшим количеством иодидного или технического титана (около 10%). Пленки (налеты), получающиеся в результате распыления материала, из которого изготовлена вакуумная установка, при конденсации на охлаждаемых поверхностях также могут понижать давление в откачиваемом объеме. [c.105]

Следует отметить, что за последние годы все чаще начинают встречаться описания комбинаций различных откачных средств, целью которых является увеличение скорости откачки, расширение диапазона рабочих давлений и снижение времени, необходимого для получения сверхвысокого вакуума. Так, например, установлено, что быстрота действия геттерно-ионного насоса значительно возрастает, если параллельно к нему подсоединить небольшой магнитно-электроразрядный насос. Интерес представляет также комбинация магнитно-электроразрядного насоса с криогенным насосом, охлаждаемым жидким азотом. При этом в результате интенсивного вымораживания паров воды и углекислого газа время, необходимое для получения давления 1 10 мм рт. ст., сокращается в несколько раз. [c.134]

Разработан геттерно-ионный насос орбитронного типа СОН-А-1 (рис. 23), в котором электроны проходят большой путь по эллиптическим спиралеобразным траекториям, что создает условия для эффективной ионизации остаточных газов [56]. Насос имеет две зоны сорбции с разными температурами. [c.79]

Предельное остаточное давление геттерно-ионных насосов составляет около 10 Па, а давление запуска около 10- Па, так как при [c.145]

В вакуумной системе, построенной по схеме 2 табл. 14.2, в качестве сверхвысоковакуумного насоса используется ионно-геттерный или магнитный электроразрядный насос 1, который производит откачку изделия через цельнометаллический прогреваемый кран 2. [c.271]

ГЕТТЕРНО-ИОННЫЕ НАСОСЫ [c.158]

Геттерно-ионный насос является одним из современных средств безмасляной откачки газов. [c.158]

Основные характеристики геттерно-ионных насосов [c.158]

Геттерно-ионный насос состоит из корпуса и электродной системы. [c.158]

Очень часто для улучшения рабочих характеристик применяют насосы с комбинированным принципом действия например, комбинации водоструйных и пароэжекторных насосов, геттерных и ионных насосов, диффузионных и криогенных насосов и т. д. [c.402]

Электродная система геттерно-ионного насоса ГИН-5 состоит из блока испарителей 1 и ионизатора (рис. 135). [c.158]

Геттерно-ионные насосы пускаются в работу после создания давления 1-10" — 1 10 жл1 рт. ст. и обезгаживания при температуре 350—400° С в течение 2—5 ч. [c.161]

Что касается средств, применяемых для создания вакуума в установках напыления, то в случае их периодической работы важно получить предельное давление в системе возможно быстрее. Нужно также периодически работающую установку конструировать так, чтобы ее можно было быстро и удобно прогреть. В некоторых случаях целесообразно применение геттерного насоса, так как при нагреве испарителей во время напыления выделяется дополнительное количество газа, которое может вызвать нежелательное повышение давления. До начала напыления внутреннюю поверхность установки покрывают слоем титана, который в процессе напыления и служит геттерным насосом. По некоторым данным, для таких установок не всегда целесообразно применение геттерно-ионных насосов, а наилучшими средствами откачки считают диффузионные насосы с лабиринтными отражателями или молекулярные насосы. Возможно также применение конденсационных насосов. [c.234]

В другой вакуумной системе (рис, 7.47, б) в качестве сверх-высоковакуумного насоса используется геттерно-ионный или электроразрядный магнитный насос 1, который производит откачку изделия через цельнометаллический прогреваемый вентиль 3. Для предварительного обезгаживания сверхвысоковакуумного насоса и вакуумной системы, а также для создания предварительного разрежения в изделии предназначен пароструйный диффузионный насос 7 с азотной ловушкой 6. Откачка изделия до давления Ю тор осуществляется механическим вакуумным насосом 9 через холодный пароструйный диффузионный насос 7. Этот насос может быть отделен от вакуумной системы цельнометаллическим прогреваемым вентилем 5. Выпускной патрубок пароструйного диффузионного насоса соединен с механическим вакуумным насосом 9 через вентиль 8. Измерение давления производится манометрическими датчиками 2 и 4. [c.460]

Отличием вакуумной системы (рис. 7.47, в) от схемы вакуумной системы, изображенной на рис. 7.47, б, является наличие пароструйного диффузионного насоса 1 с азотной ловушкой 2 и прогреваемым вентилем 3. Подключение пароструйного диффузионного насоса к геттерно-ионному насосу значительно увеличи- [c.461]

В геттерно-ионных и электраразрядных насосах при выключении наблюдается обратное выделение адсорбированных инертных газов и углеводородов. Последние образуются из углерода, содержащегося в составе титана как примесь. Углерод взаимодействует с во- [c.135]

В отечественных геттерно-ионных насосах чаще всего применяются иодидный титан (СТУ-35-452-63), титановый сплав ВТ-1-1 (АМТУ-388-59), а также титапо-мо-либденовая проволока (СТУ-35-451Э63), которую получают путем осаждения титана на молибденовый керн с помощью иодидного метода. [c.100]

На рис. 2-11 изображен геттерно-ионный насос ГИН-05 с прямонакальными испарителями из титаномолибденовой проволоки. Основными элементами насоса являются испарители, ионизатор, внутренний нагреватель, корпус и крышка. Последние изготовлены из не- [c.100]

Разновидностью геттерно-ионных насосов является так называемый орбитрон (рис. 2-12). [c.103]

Недостатками гетТерно-ионных насосов являютсй достаточно узкий диапазон, в котором скорость откачки не зависит от давления, а также высокая селективность при откачке смеси газов. Так, например, скорость откачки аргона примерно в 600 раз меньше скорости откачки водорода. Эта особенность насоса может быть полезно использована для определения течей до 10 Л Мк1сек за счет обдувания объекта проверки аргоном. [c.104]

Предельный вакуум, создаваемый с помощью геттерно-ионных насосов, может быть значительно улучшен, если проводить напыление титана на поверхность, имеющую температуру жидкого азота. Такого рода насосы, называемые азотитами, обладают удельной сорбцией, примерно в 5 раз выше, чем сорбция титаном, нанесенным на поверхность, находящуюся при комнатной температуре. Откачка азотитами по сравнению с сорбцией титаном на тепловой поверхности не приводит к выделению в объем посторонних газов, например метана. Предельный вакуум, получаемый с помощью азотитов, достигает 2-10- жж рт. ст. Параметром, ограничивающим применение насоса в области высоких давлений, является количество молекул титана, испаряемого в единицу времени. Когда оно менее чем в 10 раз превышает количество поступающих в объем молекул водорода, давление в объеме быстро возрастает — азотит захлебывается . [c.104]

Насосы с твердофазными испарителями образуют геттерно-ионную серию насосов ГИН-5, ГИН-2 и ГИН-05М1 с быстротой откачки 5000, 2000 и 500 л/сек. Система электродов монтируется на фланце (рис. 22). Прямонакальные испарители имеют форму щиилек из молибденовой проволоки диаметром 3. им со слоем титана до 0,5 мм они работают поочередно. Катод ионизатора изготовлен из вольфрама диаметром 0,5 мм, анод — сетчатый, в форме цилиндра. Боковые стенки насоса имеют водяную рубашку о.хлаждения. Насос [c.77]

Комбинированные системы с крионасосами строятся с использованнем как паромасляных насосов, так н без-масляных средств откачки (геттерных, геттерно-ионных и турбомолекулярных). Как правило, предварительная откачка и тренировка системы осуществляются с помощью вспомогательных средств откачки. [c.119]

Большим достоинством геттерно-ионных насосов, как и других сорбционных насосов, является отсутствие рабочей жидкости, что позволяет получать с их помощью вакуум, практически свободный от углеводородных загрязнений (безмасляный вакуум). Эти насосы не требуют охлаждаемых ловушек на входе и часто присоединяются к откачиваемому сосуду без промежуточного крана, благодаря чему эффективно используется быстрота действия насоса. Как все сорбционные насосы, гет-терно-ионные насосы не боятся аварийных отключений энергии, так как при этом наблюдается довольно медленный рост давления в откачиваемом сосуде, бесшумны в работе, не создают вибраций, не требуют непрерывной работы насосов предварительного разрежения. Насосы с термическим испарением титана очень быстро запускаются в работу. [c.147]

Иошю-гетгерные вакуумные насосы. Эффект ионно-геттерного откачивания газа обусловлен высокой химической активностью ионизированных молекул, способных проникать в поверхностный слой распыляемых частичек геттера и химически взаимодействовать с ним. [c.487]

Комплекс работ по безмасляным средствам откачки в этот период завершается разработкой ряда сорбционных цеолитовых насосов и агрегатов, предназначенных для предварительной форвакуумной откачки систем с геттерно-ионными магниторазрядными насосами от 760 до 10 -10" мм рт.ст.-(насосы ЦВН-0,1-2, ЦВН-1-2, агрегаты ЦВА-0,1-1, ЦВА-0,1-2, ЦВА-1-1, ЦВ-1-2). На базе магниторазрядных и цеолитовых насосов создается ряд безмасляных откачных агрегатов типа "Эра" Эра-30-2, ЭРА-100-2, ЭРА-300-2 с быстротами действия от 25 до 250л/с, с предельным вакуумом 10" мм рт. ст. [c.9]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология