Испарительные геттерные насосы

Принцип действия испарительных геттерных насосов основан на физическом и химическом связывании газов на поверхности и в объеме активных веществ — геттеров. В качестве геттеров могут быть использованы пленки титана, бария, циркония и других химически активных металлов. Обновление пленок производят путем термического испарения соответствующего металла и последующего осаждения его на охлаждаемой поверхности стенок корпуса насоса или на специальные металлические листы, поме щенные в вакуумной камере. [c.52]

Рис. 24. Комбинация адсорбционного и испарительного геттерного насосов

Большим достоинством испарительных геттерных насосов является получение ими вакуума практически свободного от углеводородных загрязнений (безмасляного вакуума). Однако для этого требуется, чтобы геттер, обычно титан, содержал минимальные количества углерода и растворенных газов, особенно водорода. В противном случае при работе насосов могут синтезироваться даже тяжелые углеводороды с массой более 100. Так как в насосах откачиваемый газ удерживается внутри насоса, то для них в принципе не требуется постоянно действующая вспомогательная система форвакуумной откачки. Необходимо лишь создать предварительное разрежение до давления запуска, при котором возможна работа испарителя. Другими достоинствами испарительных геттерных насосов является их бесшумность в работе, отсутствие вибрации, возможность для большинства конструкций работать при любой ориентации. [c.59]

Другой основной вакуумной характеристикой испарительных геттерных насосов является коэффициент захвата, определяющий вероятность поглощения молекул газа, входящих в насос через его впускной патрубок, [c.56]

В испарительных геттерных насосах в качестве поглотителей могут быть использованы многие химически активные металлы. Основными критериями при выборе того или иного материала 54 [c.54]

ИСПАРИТЕЛЬНЫЕ ГЕТТЕРНЫЕ НАСОСЫ [c.52]

Рис. 17. Испарительный геттерный насос

Основными вакуумными характеристиками испарительных геттерных насосов считаются диапазон рабочих давлений и коэффициент захвата. [c.56]

Для определения коэффициента захвата испарительных геттерных насосов требуется знать распределение молекулярных потоков по всей поверхности насоса. Одним из методов решения этой задачи может служить зональный метод [14, 33], широко используемый для расчета лучистого теплообмена. Сущность этого метода заключается в разделении всей поглощающей поверхности насоса на ряд зон, в каждой из которых коэффициент прилипания и поток молекул считают неизменными, и в последующем составлении конечных систем алгебраических уравнений для локальных разрешающих угловых коэффициентов испускания молекул. [c.57]

Отечественной промышленностью выпускается целая серия испарительных геттерных насосов различных типов. Среди них геттерно-ионные насосы ГИН-0,5М1, ГИН-2, ГИН-5, имеющие быстроту действия по воздуху в диапазоне 10 —10 Па соответственно 450, 1800 и 4500 л/с, а предельное остаточное давление менее 10" Па. Охлаждение насосов водяное. Испарители — прямонакальные. Насосы поставляются комплектно с блоком питания. [c.59]

Испарительные геттерные насосы относятся к сорбционным насосам, в которых, поглощение газов осуществляется за счет физической адсорбции, хемосорбции, химических реакций и растворения газов в пленке металлического геттера, создаваемой методом термического испарения. В качестве геттера в таких насосах может быть, вообще говоря, использован любой активный металл, применяемый для распыляемых геттеров в электровакуумных приборах однако из условий эксплуатационного удобства в промышленных насосах применяется пока только титан. Титан образует прочные [c.137]

На рис. 7.35 показана схема сверхвысоковакуумного агрегата, состоящего из испарительного геттерного насоса 1, азотной ловушки 4 и паромасляного диффузионного насоса 5. [c.138]

В Испарительном геттерном насосе титан конденсируется на внутренней стенке цилиндрического экрана 6, охлаждаемой жидким азотом, подаваемым из сосуда Дьюара 2. Испаритель титана 3 содержит запас титановой проволоки и механизм для ее периодической подачи в водоохлаждаемый медный тигель — анод. Испарение титана происходит путем разогрева титановой проволоки электронной бомбардировкой с помощью имеющейся в испарителе электронной пушки. Такой спо-138 [c.138]

Магнитный электроразрядный насос Два титановых испарительных геттерных насоса. Один механический вакуумный насос [c.275]

Испарительный геттерный насос служит для интенсивной откачки химически активных газов (кислорода, водорода, азота и т. д.), а магнитный электроразрядный насос в основном предназначен для откачки инертных газов (гелия, аргона, неона и т. д.) и метана. [c.277]

Предварительная откачка изделия 2 осуществляется через цельнометаллический прогреваемый кран 5 и кран 12 с резиновым уплотнением безмасляной системой, состоящей из механического вакуумного насоса 15 с адсорбционной ловушкой 10 и титанового испарительного геттерного насоса 9. Вначале изделие откачивается механическим вакуумным насосом 15 до давления 5 Па, а затем — испарительным геттерным насосом до давления 10 —10 Па. [c.277]

С этой же целью в ряде конструкций устанавливают в рабочей камере дополнительные титановые испарительные геттерные насосы или криосорбционные насосы, охлаждаемые жидким гелием. Для напуска воздуха или газа в рабочую камеру предусмотрены электромагнитный натекатель 5 и ручной натекатель 3. [c.288]

Нижний предел рабочвсо давления испарительных геттерных насосов определяется в основном чистотой используемого геттерного материала, равновесным давлением газов над поверхностью сорбирующей пленки активного металла и эффективностью связывания или отвода из насоса трудносорбируемых инертных газов и углеводородов. Для насосов с водяным охлаждением предельное остаточное давление может быть 10" ГТа, а для охлаждаемых жидким азотом 10 Па. [c.56]

Сверхвысоковакуумный орбитронный насос СОН-А-1 также является разновидностью испарительных геттерных насосов. В нем, вследствие создания условий для более эффективной ионизации остаточных газов, наряду с низкотемпературным охлаждением жидким азотом повышена быстрота откачки инертных газов. Быстрота действия насоса по воздуху в диапазоне давлений 10" — 10" Па составляет 500 л/с, а по азоту 1800 л/с. Предельное остаточное давление, создаваемое насосом при охлаждании жидким азотом, составляет 10" Па. [c.59]

Механизм откачки отдельных газов в магниторазрядных насосах во многом сходен с механизмом, определяющим работу испарительных геттерных насосов. Однако интенсивная ионизация и диссоциация молекул откачиваемого газа в газовом разряде делают ма гниторазрядный насос более эффективным средством откачки инертных газов, углеводородов и других сложных молекул. [c.61]

Интенсивное охлаждение стенок насоса водой, а в некоторых случаях и жидким азотом дает такой же эффект, как и в испарительных геттерных насосах, т. е. резко увеличивается быстрота откачки большинства газов и подавляется синтез углеводородов на поверхности конденсации. Особенно целесообразно применять азотное охлаждение в разборных периодически вскрываемых непрогреваемых системах. [c.64]

Наиболее широко в адсорбционных насосах для охлаждения сорбента используется жидкий азот. Он является наиболее до- ступным, дешевым и удобным в обращении хладагентом. Однако охлаждение адсорбентов до температуры 77К явно недостаточно, чтобы эффективно поглощать такие газы, как водород, неон и гелий. С целью уменьшения парциального давления этих газов вакуумные системы перед включением в работу адсорбционных насосов либо промывают сухим азотом, практически свободным от указанных выше плохоадсорбируемых газов, вытесняя таким образом воздух, либо предварительно вакуумируют, например механическими насосами. В том случае, когда в процессе откачки системы адсорбционным насосом возможно большое газоотделе-ние водорода, его поглощение может быть осуществлено испарительным геттерным насосом. [c.74]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология