Резисторные датчики скорости осаждения

При обсуждении принципов работы и конструкции датчиков было показано, что некоторые из них регистрируют толщину осажденного вещества и, следовательно, непосредственно могут быть использованы для определения момента, когда процесс должен быть прекращен. Другие датчики регистрируют скорость осаждения вещества и требуется интегрирование по времени осаждения. Для автоматического контроля необходимо использовать датчики, выходной сигнал которых является электрическим. Как показано в табл. 17, большинство датчиков имеют электрический выход, который можно использовать для целей контроля. В случае ионизационного датчика сигнал должен быть проинтегрирован для получения толщины пленки. Шварц [280] и Броунелл с сотрудниками [286] рассмотрели варианты схем и приборы для электронного интегрирования сигналов. В зависимости от природы сигнала и пожеланий исследователя можно использовать как аналоговые, так и цифровые системы для прекращения контроля и завершения процесса осаждения. В первом случае для указания конечной величины и закрытия заслонки удобно использовать самописец с регулируемой установкой контрольной величины. Система цифрового контроля вместе с резисторным датчиком приведена на рис. 60. [c.159]

Использование тиристоров для автоматического контроля скорости испарения началось недавно. Работа таких систем контроля была рассмотрена в обзоре Штекельмахера [279]. Бас с сотрудниками [343, 344] описали систему контроля как скорости осаждения, так и толщины пленки с использованием кварцевого датчика. Последняя статья представляет общий интерес, поскольку компоненты системы были сконструированы в виде модулей, которые рбладают большой гибкостью в осуществлении различных функций контроля процесса испарения. Например, управляющий сигнал может быть получен от датчика, отличного от кварцевого датчика. Более того, хотя сисг ёма первоначально и предназначалась для контроля прямонакальных испарителей, схема контроля является дo faтoчнo гибкой, чтобы стабильно работать с другими типами испарителей, имеющими иные зависимости скорости испарения от мощности. Например, скорость испарения при использовании нагрева электронным лучом заметно меняется при изменении электронного тока. Испарители с индукционным нагревом также могут управляться системой обратной связи. Однако высокая стоимость, а также необходимость большой площади и требования техники безопасности для генератора и дросселя насыщения обычно ограничивают использование таких испарителей. Турнер с сотрудниками [334] описал испаритель сплава никель — железо с индукционным нагревом, который автоматически управлялся от резисторного датчика. [c.162]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология