Метод магнетрона

Неорг. аморфные О.м. получают конденсацией из парогазовой фазы, химическими транспортными реакциями, кристаллизацией и хим. осаждением из р-ров, облучением кристаллич. материалов и др. методами органические-полимеризацией в блоке, р-ре и т.д. Для снижения оптич. потерь в волокнах из аморфных органических О.м. до 10" -10" см используют мономеры, предварительно подвергнутые очистке. Покрытия из О.м. наносят термич. вакуумным напылением, испаряя исходный материал в электропечах или потоком электронов (катодное, магнетронное распыление). [c.393]

Электронный захват Магнетронный метод То же [c.305]

Рассеяние электронов Магнетронный метод Полярографический метод [c.305]

Магнетронный метод Квантовомеханический расчет Сопоставление различных данных [c.307]

Присутствие кислорода в решетке A1N [33] фиксируется при синтезе нитрида агс-методом в атмосфере, содержащей NO2. В [34] исследованы процессы окисления пленок нитрида при различных температурах. При 1000 °С установлено образование оксинитридной фазы AlO N , которая в интервале 1000 °С < г < < 1400 °С окисляется до a-AljOj. В [35] однородные метаста-бильные А1—О—N фазы, полученные методом магнетронно-го осаждения при использовании А1-мишени и Аг—Oj—N2 си газов при t = 190 °С и различных давлениях О2 и Nj газов, исследовались методами рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и электронной спектроскопии с угловым разрешением. Обнаружено формирование богатых кислородом нано-кристаллических А1—О—N фаз с кубической (типа y-AlzUj) структурой богатые азотом фазы имеют вюртцитоподобную гексагональную структуру. При 0/N -1,5 получаемые фазы аморфны. [c.8]

Тонкие пленки состава (В1о,б, 8Ьо,4)2Тез различной толщины наносили методом магнетронного распыления на специально очищенные стеклянные пластинки при комнатной температуре. Пленки имели поликристаллическое строение, и размер зерен увеличивался с ростом толщины. Электропроводность была измерена в интервале температур 300—450 К с двумя циклами нафевания и охлаждения. В течение первого цикла поведение образцов было необратимым. После второго цикла, а также после отжига образцы приобретают полупроводниковые свойства. Энергия активации про- [c.249]

Следует хотя бы кратко остановиться еще на двух методах. Один из них, известный под названием метода магнетрона, широко использовался в работах Пэйджа [31]. К сожалению, сопоставление с данными измерений другими методами показывает, что метод магнетрона дает ненадежные результаты. Так, по данным [40], Л(ОН)=65 ккал/моль, тогда как в работе [34] получено Л(ОН)=42 ккал/моль. Основной недостаток метода магнетрона состоит в том, что отрицательный ион, для которого надо определить сродство к электрону, никак не идентифицируется его появление просто постулируется, исходя из структуры начальных реагентов. Такой подход, однако, ненадежен, как было показано в работе [41], в которой с помощью масс-спектрометра было обнаружено, что в действительности появляются не те ионы, которые предполагаются в работах Пэйджа. [c.65]

Наиболее производительными установками полунепрерывного действия являются многопозиционные установки карусельного типа, например 01НИ-7-006 (рис. 57), предназначенные для нанесения двухслойных пленок методом магнетронного распыления. Эти карусельные установки созданы на базе планарного магратрона с кольцевой зоной эрозии, имеют рабочую камеру, откачную систему и шкаф управления и позволяют последовательно обрабатывать партии подложек в едином цикле. Все технологические операции, кроме загрузки и выгрузки подложкодержателей и установки на них подложек, автоматизированы. [c.88]

Оптические свойства полупроводников. Выше, в 1.2, было показано, что методы ИПД могут быть использованы для получения наноструктур не только в чистых металлах и сплавах, но и в полупроводниковых материалах, широко используемых в электронной технике. В последние годы значительный интерес вызвали оптические свойства наноструктурных 81 и Се, в которых наблюдалось люминесцентное свечение в видимой области спектра. Эти эффекты были обнаружены в пористом Si, полученном химическим травлением [396, 397], в образцах 81, полученных электронно-лучевым распылением [398], и в нанокристаллах Се, полученным магнетронным распылением [399]. Вместе с тем в этих работах исследованные образцы были в виде пористого материала или тонких пленок. В этой связи интерес представляет исследование спектров рамановского рассеяния и фотолюминес- [c.232]

СНаСЬ 1,31 Магнетронный метод [109] [c.304]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология