Покрытия вакуумным напылением

В ряде случаев вакуумное напыление является единственным методом получения тонких пленок. Этот метод значительно экономичнее других известных методов массового производства металлизированных изделий. При его использовании механическая обработка поверхностей покрытия минимальна. Способ металлизации в высоком вакууме обеспечивает покрытие пластмасс, фольги, бумаги, тканей тонким металлическим слоем и прочное сцепление его с основным материалом. В процессе металлизации изделие вращается вокруг испарителя и покрывается слоем металла. Специальные зажимные приспособления должны обеспечивать простое и надежное крепление изделий приспособления не должны затемнять металлизируемую поверхность. Высоким качеством отличаются пружинные магнитные устройства. Можно осаждать в виде тонких пленок и неметаллические материалы, напри- [c.232]

Основные принципы. Технология и оборудование, применяемые в этом методе, аналогичны используемым в процессе вакуумного напыления, В камере для нанесения покрытия давление атмосферы (в качестве которой может выступать воздух или инерт- [c.391]

Некоторое увеличение прочности гальванически металлизированных зерен можно объяснить тем, что часть осажденного металла все же попадает в дефектные места поверхности зерен (металлизация ведется из жидкого раствора электролита). Этого не происходит при нанесении покрытия вакуумным напылением (теневой эффект) в случае металлизации медью. Последняя, к тому же, совершенно не адгезирует к алмазу, этими объясняется полное отсутствие-упрочнения в этом случае. . [c.103]

Методом, подобным вакуумному напылению, является катодное напыление, когда предмет, на который наносится покрытие, размещается в электрическом поле вблизи катода. [c.204]

Вакуумное напыление применяется для нанесения тонких покрытий, толщина которых колеблется от 0,01 до 0,5 мкм в случае нанесения благородных металлов (серебро, золото, платина) и достигает 75 мкм в случае нанесения покрытий из кадмия, цинка, алюминия, меди или селена на небольшие по-размеру предметы. Процесс ведется в вакуумных камерах при давлении 10 мм рт. ст. (для золота) и 10 —10 мм (для серебра). Покрываемый предмет, предварительно хорошо очищенный, подвешивается в камере над платиновым, вольфрамовым или молибденовым тиглем, который разогревается электрическим током до температуры кипения напыляемого металла. В тигель вводится напыляемый металл, затем после герметизации в камере создается вакуум и включается нагрев. Пары металла оседают на холодных поверхностях покрываемых предметов, образуя при этом тонкий, гладкий и плотный, хорошо сцепленный с основой слой, который лишен посторонних включений. Напыленные покрытия прекрасно проводят электрический ток, это обусловливает их применение в электронике. Благодаря хорошему блеску и другим декоративным эффектам такие покрытия используют в ювелирном деле. [c.204]

Неорг. аморфные О.м. получают конденсацией из парогазовой фазы, химическими транспортными реакциями, кристаллизацией и хим. осаждением из р-ров, облучением кристаллич. материалов и др. методами органические-полимеризацией в блоке, р-ре и т.д. Для снижения оптич. потерь в волокнах из аморфных органических О.м. до 10" -10" см используют мономеры, предварительно подвергнутые очистке. Покрытия из О.м. наносят термич. вакуумным напылением, испаряя исходный материал в электропечах или потоком электронов (катодное, магнетронное распыление). [c.393]

Обозначения ЛД — литье под давлением Э — экструзия Э н МО—экструзия II механическая обработка П и С —прессование и спекание Л —литье ВФ —вакуумное формование ПВН—покрытие вихревым напылением МО — механическая обработка. [c.228]

Металлические покрытия могут наноситься различными способами гальваническим, горячим (окунанием), распылением (металлизацией), вакуумным напылением, плакированием (совместной прокаткой двух листов металла), химическим (осаждением из растворов). [c.184]

Вакуумное напыление позволяет получать покрытия с более высокой коррозионной стойкостью, чем другие методы. Например, слой кадмия толщиной 0,005 мм, напыленный в вакууме, защищает сталь в такой же степени, как и слой кадмия толщиной [c.390]

Покрытия можно осаждать как на металлы, так и на не.метал-лические материалы, которые для этого предварительно покрывают слоем алюминия методом вакуумного напыления. [c.327]

Вместо керамики в паяном переходе может быть использована полимерная, например, полиамидная металлизированная пленка. Металлизация пленки, толщина которой составляет 20—50 мкм, осуществляется вакуумным напылением меди или серебра до толщины металлического покрытия 0,7—2 мкм. Термическое сопротивление такой металлизированной полиамидной пленки составляет примерно 0,8—1,2 К-см /Вт. Полимерные металлизированные пленки могут быть с успехом использованы и при решении другой важной проблемы — герметизации ТБ для предохранения их от окисления и воздействия влаги. Для этого батарею заключают между двумя металлизированными пленками, свободные концы которых, выходящие за ее [c.94]

Основным методом получения алюминиевых покрытий в данное время является горячий метод. К менее распространенным способам относятся диффузионный, металлизация, вакуумное напыление, плакирование и другие. Эти методы не экономичны в смысле расхода алюминия и часто не обеспечивают нужного качества покрытия (пластичность, беспористость, равномерность). Так называемые горячие — наиболее распространенные методы получения алюминиевых покрытий [1—4] мало пригодны для защиты стального проката, подвергающегося в дальнейшем деформациям. Это объясняется хрупкостью покрытия, обусловленной появлением значительной прослойки интерметаллидов железо-алюминий. Кроме того, нагревание до 700—750° С необходимое для нанесения расплавленного алюминия может привести к нежелательному изменению некоторых физических свойств защищаемого металла. [c.311]

Важной особенностью метода термического разложения МОС является механизм образования покрытии. Ксли при вакуумном напылении пленка формируется из прямолинейно движущихся от испарителя частиц напыляемого материала, то при термическом разложении в паровой фазе процесс формирования пленки носит другой характер. Подвергаемая металлизации поверхность находится в окружении паров металлооргаиического соединения, молекулы которого хаотически движутся в различных направлениях, что позволяет им, в отличие от процесса вакуумного напыления, с равной вероятностью приближаться как к горизонтальным, так и к вертикальным плоскостям покрываемого предмета. Сама пленка формируется в результате разложения МОС либо па нагретой поверхности, либо вблизи ее. Таким образом, образование покрытия при термическом разложении МОС в паровой фазе в вязкостном режиме позволяет в отличие от вакуумного напыления наносить равномерную пленку па предметы сложной конфигурации, например, проводить металлизацию внутренних поверхностей деталей, даже при очень малых размерах отверстий. Как правило, покрытия, получаемые термическим разложением МОС в паровой фазе, отличаются высокой адгезией. Это. по-видимому, объясняется тем, что при разрыве химических связей атомы металла выделяются в возбужденном состоянии и обладают повышенной активностью и могут образовывать прочные связи с материалом подложки. Повышению адгезии способствует также диффузия металла вглубь подложки при проведении процесса при повышенной температуре. [c.185]

Металлические покрытия были получены разложением ацетилацетоната кобальта в сухом водороде в качестве газа-носителя при атмосферном давлении. Температура испарителя 140—150° С, температура подложки 325 — 340 С, температура паровой фазы 150 — 170" С и скорость газового потока 1,2 — 2,8 л/мин [41, 522]. Эти условия осаждения являются оптимальными, так как приводят к получению тонкой металлической пленки, имеющей магнитные свойства монолитного кобальта. Однако их следует рассматривать оптимальными лишь при использовании данной конструкции установки. За 8—10 мин. осаждения на стеклянной подложке была выращена пленка толщиной 0,6 мкм. Авторы отмечают, что ими получены также пленки толщиной 1,47 мкм. Адгезия пленок па стекле была плохой из-за различия в коэффициентах термического расширения кобальта и стекла. Пленки кобальта не обладали очевидной магнитной или механической анизотропностью в отличие от пленок, полученных вакуумным напылением или электрохимическим осаждением, которые обычно являются анизотропными. Присутствие некоторого количества водорода при осаждении является необходимым для получения качественных блестящих покрытий из ацетилацетоната кобальта. Хотя обычно разложение проводят при нормальном давлении, осаждение в вакууме при давлении ниже 1 мм рт. ст. имеет преимущества вследствие уменьшения возможности температурных колебаний и уменьшения тенденции образования порошковых покрытий, обусловленных разложением соединений в объеме. [c.288]

В установках для получения покрытий в вакууме различны способы нагрева испаряемого вещества. Применяют термическое испарение с электрическим или электроннолучевым нагревом и катодное распыление. В некоторых случаях требуется сочетание вакуумного напыления с ионной бомбардировкой. Для испарения тугоплавких материалов использовали луч лазера [65] с длиной волны 1,06 мкм, генерируемый в стекле, легированном N(1, мощностью —100—150 Дж в 2—4 мс. Луч проектировался в вакуумную установку через стеклянное окно и фокусировался на испаряемом [c.237]

Если в зону испарения поместить посторонний предмет (изделие), то образующиеся низкомолекулярные продукты адсорбируются на его поверхности и полимеризуются с образованием полимерного покрытия. На этом принципе по аналогии с вакуумным напылением металлов разработан процесс напыления полимеров — фторопластов, полиэтилена, полиамидов, поли-п-ксилилена. Покрытия получают в специальных установках — вакуумных камерах, снабженных электронагревателем или газоразрядной электронной пушкой (рис. 7.43,6). Применение последней обеспечивает особенно большую скорость разложения полимеров (при мощности пушки 100—110 Вт/см скорость разложения фторопласта-3 достигает 0,1—0,12 г/мин). Режим работы установок [c.268]

Для обработки подложек, на которых осуществлялась ори ентация жидких кристаллов, использовали различные ориентирующие агенты как органического, так и неорганического происхождения, а также их смеси. Техника нанесения таких покрытий на стекло, керамику и органические полимеры весьма разнообразна макание, напыление, обработка отделочным валиком, вакуумное напыление и даже химическая реакция на поверхности. Кроме того, опробован и ряд способов создания однородно направленной или наклонной ориентации на уже нанесенном покрытии — натирание, высокоскоростная полировка, механическая шлифовка, химическая обработка и вакуумное напыление под нужным углом. В качестве ориентирующих агентов опробованы полиэфиры, целлюлоза, найлон, оксид алюминия, моноксид кремния и фторид магния. [c.403]

Методы нанесения алюминиевых покрытий на трубы электроосаждением, плакированием, электрофорезом, вакуумным напылением, осаждением из газовой или парообразной фазы по ряду технико-экономических показателей не получили промышленного применения. [c.57]

Поверхностное легирование (модифицирование) [242, 243] можно осуществлять предварительным нанесением па поверхность металла слоя легирующего компонента какйм--либо методом (гальваническим покрытием, вакуумным напылением и др.) и последующей термообработкой в печи с целью диффузионного проникновения в глубь легирующего компонента. [c.326]

Для получения планарной ориентации жидкого кристалла электрод можно натереть (тканью, бумагой и т. п.) в одном направлении (метод Шатлена) при этом лучшие результаты получаются, если предварительно на электрод нанесено тонкое полимерное покрытие. Применяют также вакуумное напыление на электрод особых составов ( косое напыление), либо нанесение на поверхность электрода тонких слоев специальных ориентантов методом вытягивания из раствора. [c.163]

Катодное поведение электростатических и электрофоретических алюминиевых покрытий подобно поведению чистого алюминия. Они сильно поляризуются уже при малых плотностях тока и имеют достаточно высокое перенапряжение вьщеления водорода. Электрофоретические алюминиевые покрытия обладают наибольшим значением перенапряжения водорода по сравнению с покрытия.ми, пол>ченны. ш ikj собом электростатического и вакуумного напыления. При получении покрытий из порошковых материалов на электрохимические свойства [c.81]

Применение. А. используют гл. обр. для получения алюминиевых сплавов. Чистый А.-конструкц. материал в стр-ве жилых и обществ, зданий, с.-х. объектов, в судостроении, для оборудования силовых подстанций и др Применяют А. также для изготовления кабельных, токопроводящих и др. изделий в электротехнике, корпусов и охладителей диодов, спец. хим. аппаратуры, товаров народного потребления и др. Покрытия из А. наносят на стальные изделия для повышения их коррозионной стойкости. Способы нанесения распыление (для защиты стальных конструкций, эксплуатирующихся в приморских зонах, на хим предприятиях и др.) погружение в расплав (для получения алюминированных стальных лент) плакирование прокаткой (биметаллич. ленты) вакуумное напыление (для алю-минирования лент из стали, тканей, бумаги и пластмасс, инструментальных зеркал и др.) электрохим. способ (для получения материалов и изделий с защитно-декоративными св-вами). [c.117]

Быстрое замораживание, лиофнльная сушка, смеси обрабатываются как тонкие срезы Прессование в таблетки или в стандартные держатели Растворенные комплексы солей макро-цнклического полиэфира в эпоксидной смоле, заполимери-зованные Обработка гомогена-тов и солей как тканей Быстрое замораживание для получения капель Капля раствора соли помещается на фильтрованную бумагу, быстро замораживается и подвергается лиофильной сушке Измерение мельчайших кристаллов в оптическом микроскопе, покрытие углеродом Нанесение капель на держатели, различные способы обеспечения постоянства толщины пятна Поместить капли на покрытое углеродом покровное стекло и испарять этанол Вакуумное напыление металла на подложку Как обычно, для тонких образцов [c.88]

МВКМ Mg - углеродные волокна получают пропиткой или горячим прессованием в присутствии жидкой фазы, растворимость углерода в магнии отсутствует. Для улучшения смачивания углеродных волокон жидким магнием их предварительно покрывают титаном (путем плазменного или вакуумного напыления), никелем (электролитически) или комбинированным покрытием N1 -В (химическим осаждение,м), [c.115]

Иридиевая проволока 127(длина) Вакуумное напыление в стеклянную микропипетку электролитическое покрытие ртутью ИВ, ВА с треуг. разв. d(II), РЬ(П) НС1 [c.805]

По сравнению с другими сноссбами ианесения металлических покрытий этот способ является более совершенным. Основными его преимуществами являются возможность получения покрытий строго определенного состава, свойств и толщины, меньший расход металла, затрачиваемого на покрытие, повышенные механические и коррозионные свойства покрытий (кроме вакуумного напыления) отсутствие образования промежуточного хрупкого сплава, характерного для горячих методов покрытия возможность механи-заЩ1и и автоматизация процесса меньшие потери материалов по сравнению с химическим способом покрытия. [c.68]

Рассмотрим типовые участки схемы устаиовкй вакуумного напыления, предназначенной для нанесения на поверхность стеклянной подложки металлических или полупроводниковых покрытий методом термического испарения Е вакууме. [c.190]

Для нанесения покрытий данным методом применяют глубокий вакуум, под действием которого порошкообразный материал втягивается в камеру, где находится разогретое и подготовленное к облицовке изделие. При попадании порошка на поверхность изделия происходит его оплавление и формирование покрытия. В этот период в камере поддерживается высокий вакуум. Отсутствие воздуха в период плавления и формирования покрытия позволяет избежать нежелательных окислительных процессов деструкции. Запантентован процесс, предусматривающий нанесение покрытий методом вакуумного напыления, лучше всего он применим для облицовки различных трубок, химических сосудов. В этом случае можно использовать порошки на основе пентона, применение которых несколько ограничено в других случаях, а также найлоновые порошки (в меньшей степени). [c.526]

В установке вакуумного напыления перед нанесением покрытия подложка тщательно очищается от органических загрязнений в тлеющем разряде в разреженном газе. Ионная бомбардировка очищает поверхность подлож- [c.199]

Новые методы получения покрытий и з адсорбированных на подложке мономеров под действием электронного излучения или тлеющего разряда позволяют получать тонкие покрытия без применения растворителей, обладающие хорошими дп-электрич. свойствами, высокой адгезией к подложке и химстойкостью. Покрытия можно получать на металлич. и неметаллич. подложках на последние иногда предварительно наносят тонкий слой алюминия 100 нм ( ЮООА)] методом вакуумного напыления. [c.9]

Для нанесения покрытий используются камеры размером до 35X 100 см. Процесс конденсации на охлаждасдмых поверхностях напоминает, в известном смысле, вакуумное напыление металлов. В противоположность металлизации в вакууме (Р = 10- мм рт. ст.) нанесение п-ксилилена осуществляется при Р = 0,1 мм рт. ст. При этих условиях длина свободного пробега молекул л-ксилилена в газовой фазе составляет примерно 1 мм и субстрат наносится равномерно со всех сторон. Скорость наращивания слоя 4-хлор-л-ксилилена составляет примерно 5 мкм/мин, л-ксилилен полимеризуется немного медленнее. [c.168]

Один из способов нанесения такой пленки основан на вакуумном напылении фторидов на поверхность оптической детали. Стронгу [34] удалось снизить отражаемость поверхности стекла с 4,2% до 0,6% покрытием его фторидом кальция. Кортрайт и Тарнер [6] снизили его отражаемость до 0,4%, применяя фториды лития, магния, кальция, натрия, а также комплексный фторид натрия-алюминия. Указанные соединения обладают малыми значениями По (табл. 6). [c.491]

В ранних физических исследованиях электрического разряда в газа>( при низком давлении экспериментатор часто отмечал металлический осадок на стекле вблизи катода. Позднее был разработан метод для получения покрытия на поверхности, расположенной вблизи катода разрядной трубки, процесс известен под названием вакуумного напыления. Напряжение постоянного тока в 2000 в является достаточной э. д. с. Частицы, вылетающие из катода, содержат главным образом нейтральные атомы, движущиеся со скоростью, соизмеримой со скоростью теплового движения атомов в точке плавления материала катода. Толанский предполагает, что имеется действительно испарение локальных точек на катоде . Вакуум для процесса напыления требуется неточный, достаточно 0,1 мм рт. ст. Аналогичные процессы, известные как термонапыление, требуют давления <10" мм рт. ст., даже 10 или выше 10 . Этим путем получают пленку алюминия на больших телескопических зеркалах. Источником испаряющегося металла может быть шарик на горячей проволоке или диск на горячей пластинке, а высокий вакуум необходим для того, чтобы обеспечить средний свободный пробег частиц, превышающий расстояние между расплавленным металлом и поверхностью, подлежащей покрытию. Испускаемые частицы имеют размеры атомов. Подробности обоих процессов, которые уже получили промышленное использование в получении исходных осадков на восковых матрицах, для оптических зеркал и ювелирных покрытий, на пластиках и оптических деталях, рассматриваются в статье [8]. Электрическое сопротивление покрытий, превышающее сопротивление основного металла, обсуждено в статье [9]. Если любой из этих процессов использовать для получения слоев, предназначенных для защиты от коррозии, то требует серьезного рассмотрения вопрос [c.550]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология