Насосы с термическим испарением титана

Испарительные геттерные насосы относятся к сорбционным насосам, в которых, поглощение газов осуществляется за счет физической адсорбции, хемосорбции, химических реакций и растворения газов в пленке металлического геттера, создаваемой методом термического испарения. В качестве геттера в таких насосах может быть, вообще говоря, использован любой активный металл, применяемый для распыляемых геттеров в электровакуумных приборах однако из условий эксплуатационного удобства в промышленных насосах применяется пока только титан. Титан образует прочные [c.137]

Геттеры из редкоземельных элементов обладают рядом преимуществ перед титаном, имеющих принципиальное значение при создании экономичных миниатюрных ИГН. Главные из них — на 3—4 порядка большая скорость испарения и высокая термическая устойчивость соединений, образующихся при взаимодействии с откачиваемыми газами. Равновесное давление водорода над геттерной пленкой, содержащей гидриды гадолиния и эрбия, при Г = 600 К не превышает 5 1С Па. Предельное остаточное давление, достигаемое в этих насосах, составляет (2 -г 5) 1СГ Па парциальное давление водорода понижено на порядок, а метана - в 4-5 раз по сравнению с давлением в испарительных насосах с гет-хером из титана. Эти особенности редкоземельных металлов позволяют резко снизить мощность, затрачиваемую на испарение геттера, и дают возможность использовать насосы при повьаиенных температурах. [c.121]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология