Электронно-лучевые установки

ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫЕ УСТАНОВКИ [c.247]

Электронно-лучевая установка состоит из устройства для получения и формирования электронного пучка, рабочей камеры с расплавляемым электродом и кристаллизатором (плавильная печь, рис. 4.33) или с нагреваемым материалом (нагревательная печь) и откачной системы, поддерживающей в катодной области на пути пучка давление не более 10 2 Па. [c.248]

Таким образом, в электронно-лучевой установке (ЭЛУ) источник энергии вынесен из объема, где осуществляется технологический процесс, и поэтому в отличие от ВДП и печей ЭШП его мощность можно регулировать независимо от того, что происходит в рабочей камере ЭЛУ. Это позволяет перегревать металл в нужных пределах, осуществлять его выдержку при постоянной температуре, необходимой для глубокой очистки от примесей и газов, проводить операции рафинирования с использованием шлаков. Это дает возможность получить в ЭЛУ металл (главным образом, тугоплавкие металлы и сплавы) более высокого качества по сравнению с ВДП, где невозможно прекращать наплавление слитка. [c.249]

Электронно-лучевые установки применяются не только для переплава металлов и сварки в вакууме, но и для нагрева под термообработку тугоплавких металлов. Примером могут служить установки непрерывного действия для нагрева металлической ленты. Лента продвигается в вакуумированной камере под аксиальной пушкой, пучок которой движется непрерывно с большой скоростью перпендикулярно движению ленты. Отклонение пучка осуш,ествляется электромагнитной системой, управляемой по программе с тем, чтобы обеспечить равномерное температурное поле по ширине ленты. [c.253]

Электронно-лучевые установки используются также для спекания и зонной очистки тугоплавких металлов и для выращивания монокристаллов. В этих случаях с успехом могут быть применены установки с кольцевым катодом и с радиальными пушками для стабилизации режима используются параметрические источники питания. [c.253]

Для обеспечения свободного движения электронов, для защиты катода от окисления, а также во избежание дугового разряда между электродами в электронно-лучевой установке создается весьма низкое давление (порядка 0,01 Па). [c.302]

ЧКХ — частотно-контрастная характеристика ЭВМ — электронно - вычислительная машина ЭЛУ — электронно-лучевая установка [c.5]

Имеются широкие возможности синтеза разнообразных металлооксидных покрытий путем смешивания паров металлов и окислов в электронно-лучевых установках. Технология их нанесения еще мало разработана, а свойства подлежат изучению. [c.157]

Рис. fi-18. Схема электронно-лучевой установки для получения пленок различных материалов

Рис. 8. Электронно-лучевая установка.

Металлические катоды изготавливают в виде нитей, прутков, лент, спиралей в системах прямого накала и используют в мощных высоковольтных электронных системах - генераторных лампах, рентгеновских трубках, электронно-лучевых установках. [c.489]

В настоящее время плавильные электронные установки используются главным образом для переплава стали, молибдена и других тугоплавких и химически высокоактивных металлов. Электронные установки с аксиальными пушками работают при напряжениях 30—40 кВ, свароч-Н1з1е электронно-лучевые установки с особо остро сфокусированным лучом работают при напряжениях 70— 100 кВ. [c.252]

Электронно-лучевые нагреватели. Металлургические плазмотроны постоянного тока в диапазоне среднего вакуума, в отличие от плазмотронов высокого давления обратной полярности, имеют основной статьей энергобаланса энергию, передаваемую аноду — заземленной ванне металла, нагреваемого в результате бомбардировки последнего потоком электронов. Конвективный перенос тепла от столба вакуумного разряда сравнительно невелик, потери тепла за счет излучения и теплопроводности играют второстепенную роль в вакуумном разряде с протяженным разрядным промежутком, который необходим для организации рафинировочного процесса в металлургической вакуумной печи. В таких разрядах сохраняется аналогия с электронно-лучевыми установками, поскольку в электрическом вакуумном разряде перенос энергии к заземленному электроду осугцествляется направленным, практически бесстолкновительпым пучком электронов. Формирование пучка в диапазоне среднего вакуума осуществляют с помощью плазменного полого катода, схема и принцип работы которого приведены на рис. 6.13. Источник [c.306]

Технологически электронно-лучевые установки удобны тем,что электронорельеф создается в вакуумной камере, которая служит рабочим пространством для последующего травления подложки пучками ионов (ионно-лучевое травление). Экспонирование по рисунку потоком электронов возможно из фотокатода, который должен иметь переносимый на полимер рисунок. Этот рисунок в свою очередь создается при засветке катода УФ-светом через маску. Таким образом, звеном, лимитирующим разрешающую способность электронографического процесса в целом, при проекционном экспонировании является создание прецизионной маски. Для [c.133]

Световой луч может быть использован в качестве инструмента для прошивки отверстий очень малого диаметра, меньшего, чем с электронным лучом. На электронно-лучевых установках возможна прошивка отверстий диаметром 2—5 мк и более. Прошивка отверстий меньшего диаметра невозможна из-за аберрации электронного луча. Квантовые генераторы позволяют прошивать отверстия диаметром 0,7—1 мк. С помощью световых лучей возможна сварка миниатюрных изделий, поэтому применение их целесообразно при производстве микроминиатюрных изделий и радиосхем. Способность световых лучей расплавлять любые известные материалы может быть реализована в микрометаллургических процессах. [c.459]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология