Микроскоп рентгеновский фирмы

РЭМ и РМА в действительности два очень похожих прибора. Поэтому некоторые фирмы сконструировали приборы, которые могут работать как рентгеновский микроанализатор и как растровый электронный микроскоп высокого разрешения. На рис. 1.1 приведена блок-схема такого комбинированного прибора. В этом приборе как детектор вторичных электронов, так и детекторы рентгеновского излучения установлены ниже конечной линзы. Для количественного рентгеновского анализа и для измерения интенсивности рентгеновского излучения от легких элементов желательно иметь по крайней мере [c.10]

Разработка установок — комбайнов, сочетающих несколько методов и оборудованных вычислительных техникой, что позволяет производить измерения и анализ химических, геометрических, электронных и других свойств. Определяется переход от уникальных лабораторных установок к установкам, выпускаемым снециализи-рованиыми фирмами можно говорить о создании индустрии научного приборостроения, В качестве примера на рис. 3.29 приведен общий вид установки, в составе которой имеются Оже-снектрометр, рентгеновский электронный спектрометр, ионный микроскоп, электронный микроскоп на вторичных электронах с разрешением -З О мкм, Оже-микроскоп для элеметного анализа с разрешением до 1 мкм, ионная очистка, прибор для дифракции электронов и т, д. Установ- [c.148]

Рис. 111. Рентгеновский микроскоп фирмы General Ele tri . В приборе использовано рентгеновское теневое проектирование для увеличения и обнаружения деталей внутренней структуры образцов, непрозрачных для электронов и света

Рентгеновский микроскоп фирмы General Ele tri (рис. Ill) выполнен в виде оперативного стола и весит вместе с механическим насосом около 135 кг. Внутри находится высоковакуумная система, электроннооптическая система и источник питания. Пульт управления и фотокамера видны на рисунке. Удобным узлом прибора является манипулятор, позволяющий производить перемещение образца в трех взаимно-перпендикулярных направлениях и получать пространственное представление об образце. Блок автоматического проявления, встроенный в фотокамеру микроскопа, позволяет наблюдать результаты спустя 1 мин после окончания экспозиции. Полное увеличение (включая и оптическое) достдгает 1500. Такое увеличение достигается и в оптическом микроскопе. Электронный микроскоп позволяет получать и гораздо большие увеличения. [c.312]

Исследование различных восстановленных катализаторов проводилось главным образом путем изучения физической и химической адсорбции, а также ферромагнетизма. Применялся также рентгеновский анализ и метод диффракции электронов, однако полученные результаты, хотя и оказались полезными, но не внесли существенных изменений в представления об исследуемых структурах. Аппаратура, примененная для изучения физической и химической адсорбции, была описана в ранее опубликованной работе [4]. Вначале был применен электронный микроскоп фирмы Филипс (Philips ЕМ 100) с разрешающей [c.160]