Распыления коэффициент таблица

Значения для а и Sn E) приведены в виде графика и таблицы, соответственно. Таким образом, теоретические значения коэффициентов распыления можно легко определить в рассмотренном интервале энергий (порядка кэБ для большой и средней массы ионов). [c.397]

Как и следовало ожидать, скорости нанесения пленок различных материалов, распыляемых при одинаковых условиях (плотность тока, геометрия системы и т. п.), близко связаны с коэффициентами распыления этих материалов. Однако вычисление скоростей нанесения прямо иэ коэффициентов распыления крайне сложно из-за отсутствия надежных данных по коэффициентам вторичной эмиссии, коэффициентам повторного распылення, распределению плотности катодного тока и т. д. Поэтому результаты, пр1шеденные в табл. 2, следует рассматривать при оценке скорости нанесения только как ориентировочные. Многие опубликованные результаты не скорректированы на вторичную электронную э.миссию и, кроме того, значения, приведенные в таблице, брались, как правило, из кривых для коэф-ф1щиентов распыления. Таким образом, ошибки, содержащиеся в указываемых величинах, могут достигать 20%. Приведены результаты только для бомбардировки мишеней ионами аргона, поскольку этот газ наиболее широко используется при нанесении пленок ионным распылением. Коэффициенты распыления для других нонов приведены в работе [3]. Если в таблице не указана ориентация мии еней, следует считать их поликристаллическими или аморфными. [c.454]

При исследовании твердей смазочной пленки дисульфида молибдена со связующим ГЭН-150 (при отношении связующего вещества к дисульфиду молибдена, равном 0,5), нанесенной распылением [31 непосредственно на обезжиренную поверхность ролика, пришли к выводу, что в описанном приборе коэффициент трения не зависит от скорости скольжения и силы натяжения ленты (при изменении от 200 до бООГ и скорости от 200 до 800 об мин). Время истирания, как это видно из данных таблицы, обратно пропорционально скорости вращения ролика. Коэффициент исти- [c.312]

В таблице приведены нормативы расхода при окраске безвоздушным распылением только для группы сложности I,- для группы сложности II применять поправочный коэффициент 1,08. [c.527]

Разногласия относительно теоретической интерпретации ионного распыления будут, вероятно, в течение некоторого времени еще существовать, так как эта проблема весьма сложна. Кроме того, существует бол1 Ц1ое число экспериментальных данных, касающихся различных аспектов иоиного распыления, которые необходимо объяснить на основе общей модели. Существует определенная тенденция отбирать только те экспериментальные данные, которые подтверждают предлагаемую теорию, и игнорировать другую информацию. Однако в оправдание теоретиков следует подчеркнуть, что определенная степень отбора данных оправдана и необходима, так как опубликовано много некорректных экспериментальных данных. Вполне возможно, что в случае ионного распыления, как и при решении других сложных проблем, вычислительные машины в проведении определенных вычислений будут играть все возрастающую роль Лучшая современная теория ионного распыления, теория Зигмунда [158], не требует использования вычислительных машин. Коэффициенты распыления можно определять в широком интервале энергий бомбардирующих ионов с помощью графика и таблицы. [c.397]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология