Смазка элементов вакуумных систем вводов для передачи движения

Вводы для передачи движения. Для правильного функционирования внутренних элементов вакуумной системы, таких как затворы, модуляторы света, держатели сменных масок и подложек и т. д. необходима передача внутрь вакуумной камеры поступательного, вращательного или колебательного движения. К настоящему моменту уже разработан много вариантов вводов этого типа и непрерывно продолжается разработка модификаций [248]. Наибольшее применение для передачи движения нашли вводы с прокладками из эластомеров, с металлическими сильфонами или с магнитным приводом. Несколько вариантов вводов с уплотнителями на валу из эластомеров показаны на рис. 79. В варианте а используется двойное уплотнение кольцевыми прокладками, допускающее как возвратнопоступательное, так и вращательное движение, см. разд. 4 Б, 2). Обычно вал центрируется самими прокладками, однако иногда для обеспечения более высокой точности центровки применяются внешние шарикоподшипники. Для уменьшения трения используются силиконовые масла, имеющие низкое давление паров. Это особенно существенно для вводов с возвратно-поступательными перемещениями. Для вводов вращения можно использовать специфические антифрикционные свойства тефлоновых прокладок (или резиновых прокладок, покрытых тефлоновыми оболочками). Пространство между валом и отверстием можно либо откачивать для обеспечения охранного вакуума, либо заполнять маслом или специальной антифрикционной смазкой. Последний вариант характерен для высоковакуумных вентилей с линейным перемещением штока. Такие вводы серийно выпускаются с диаметрами вала от 6 до 50 мм, линейным перемещением до 10 см и скоростью вращения до 500 об/мин. Некоторые типы вводов вращения с антифрикционной смазкой позволяют увеличить скорость вращения более чем до 1000 об/мин, при скорости натекания не выше 10 мм рт. ст. л с 1. Применение вводов с уплотнителями на валу для вакуумных систем с давлением ниже 10 мм рт. ст. проблематично, особенно если требуется обеспечить возвратно-поступательное движение. Последние часто являются причиной резких изменений уровня вакуума вплоть до двух порядков величины, в зависимости от амплитуды перемещений, скорости вращения и типа антифрикционной смазки, На рис. 79, б [c.281]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология