Вакуумные уплотнения с металлическими сильфонами

Вакуумные вентили, применяемые для проходных сечений Ду 200 и меньше, характеризуются перпендикулярным расположением штока по отношению к уплотняемой поверхности. Вентиль состоит из корпуса с седлом, клапана, крышки, уплотняющих приспособлений и штока. Клапан вентиля, который в закрытом состоянии должен быть плотно прижат к седлу, перемещается при помощи штока, проходящего через крышку корпуса. Крышка соединена с корпусом на металлической или резиновой прокладке. Шток проходит через крышку на резьбе, и через резьбовую канавку внутрь корпуса проникает атмосферный воздух. Чтобы избежать этого устраивают специальное уплотнение,— резиновое, сильфонное или мембранное. Вакуумные вентили, работающие в среднем и низком вакууме, допускают применение литых чугунных или бронзовых корпусов и крышек и резиновых уплотнителей. Высоковакуумные вентили, работающие при давлении 10 —Ю мм рт. ст., требуют сварных или спаянных. корпусов из прокатанного металла. Они также допускают применение уплотнений из резины или фторопласта. Вентили для сверхвысокого вакуума (давление ниже 10 мм рт. ст.) изготавливаются со сварными корпусами из нержавеющей стали с ме-392 [c.392]

Уплотняющие кольца могут быть также использованы при конструировании вакуумных вентилей [317, 403, 551, 786, 837, 1158, 1186, 1253, 1441, 1730, 1826, 1888, 2101] на основании этих принципов уплотнения для изоляции отверстий с диаметром в несколько сантиметров могут быть применены запорные вентили [954, 1047, 1141, 2188]. В большинстве этих вентилей для передачи ограниченных перемещений, необходимых для их работы, используются металлические сильфоны. [c.152]

Непременным условием проведения всех вакуумных процессов, включая осаждение тонких пленок, является передача в объем вакуумной камеры механического движения и электрического тока. Такая передача облегчается при использовании специальных вакуумных узлов, называемых вводами. Они монтируются на стенке вакуумного колпака, на базовой плите или съемном фланце соответствующих размеров. Для уплотнения фланцев с вводами часто используются прокладки из эластомеров. Такие вводы при необходимости могут быть легко демонтированы. Следует иметь в виду, что они часто становятся источниками натекания газа. Поэтому выбор типа ввода и метода его установки должен определяться спецификой поставленной задачи. В запасном комплекте к вакуумному оборудованию обычно имеются наборы вводов различного назначения, в том числе и на основе металлостеклянных или металлокерамических спаев. Некоторые типы вводов для передачи движения выполнены на основе металлических сильфонных узлов, сборка которых в условиях неспециализированной мастерской вряд ли возможна. Таким образом, для правильного выбора подходящего ввода необходимо иметь некоторые представления о типах соответствующих устройств и их специфических характеристик. [c.277]

Вводы для передачи движения. Для правильного функционирования внутренних элементов вакуумной системы, таких как затворы, модуляторы света, держатели сменных масок и подложек и т. д. необходима передача внутрь вакуумной камеры поступательного, вращательного или колебательного движения. К настоящему моменту уже разработан много вариантов вводов этого типа и непрерывно продолжается разработка модификаций [248]. Наибольшее применение для передачи движения нашли вводы с прокладками из эластомеров, с металлическими сильфонами или с магнитным приводом. Несколько вариантов вводов с уплотнителями на валу из эластомеров показаны на рис. 79. В варианте а используется двойное уплотнение кольцевыми прокладками, допускающее как возвратнопоступательное, так и вращательное движение, см. разд. 4 Б, 2). Обычно вал центрируется самими прокладками, однако иногда для обеспечения более высокой точности центровки применяются внешние шарикоподшипники. Для уменьшения трения используются силиконовые масла, имеющие низкое давление паров. Это особенно существенно для вводов с возвратно-поступательными перемещениями. Для вводов вращения можно использовать специфические антифрикционные свойства тефлоновых прокладок (или резиновых прокладок, покрытых тефлоновыми оболочками). Пространство между валом и отверстием можно либо откачивать для обеспечения охранного вакуума, либо заполнять маслом или специальной антифрикционной смазкой. Последний вариант характерен для высоковакуумных вентилей с линейным перемещением штока. Такие вводы серийно выпускаются с диаметрами вала от 6 до 50 мм, линейным перемещением до 10 см и скоростью вращения до 500 об/мин. Некоторые типы вводов вращения с антифрикционной смазкой позволяют увеличить скорость вращения более чем до 1000 об/мин, при скорости натекания не выше 10 мм рт. ст. л с 1. Применение вводов с уплотнителями на валу для вакуумных систем с давлением ниже 10 мм рт. ст. проблематично, особенно если требуется обеспечить возвратно-поступательное движение. Последние часто являются причиной резких изменений уровня вакуума вплоть до двух порядков величины, в зависимости от амплитуды перемещений, скорости вращения и типа антифрикционной смазки, На рис. 79, б [c.281]

Вакуумные вентили, применяемые для сечения 4у= =200 мм и меньше, имеют перпендикулярное расположение штока по отношению к уплотняемой поверхности. Вентиль состоит из корпуса с седлом, клапана, крышки, уплотняющих приспособлений и штока. Клапан вентиля в закрытом состоянии плотно прижат к седлу. Клапан перемещается с помощью штока, проходящего через крышки корпуса. Шток проходит через крышку на резьбе. Внутрь корпуса через резьбовую канавку проникает воздух. Чтобы предупредить натекание воздуха в систему, в вентиле имеется специальное уплотнение — резиновое, сильфонное или мембранное. В среднем и низком вакууме можно применять вентили с литыми чугунными или бронзовыми корпусами и крышками и резиновыми уплотнениями. Вакуумные вентили, работающие при остаточном давлении 0,133 Па—1,33 мкПа, должны изготовляться из прокатанного металла. Уплотнения могут быть сделаны из резины или фторопласта. Вентили для сверхвысокого вакуума (давление ниже 1,33 мкПа) должны изготовляться из нержавеющей стали с металлическими уплотнителями, допускающими прогрев вентиля для его дегазации. [c.150]

Уплотнение движущихся деталей. Самым удобным приспособлением для передачи движения через стенки вакуумной оболочки является, по-видимому, металлический сильфон. Одним из примеров использования сильфона служит вентиль, изображенный на фиг. 5.31. Хотя сильфоны предназначены в основном для передачи небольших осевых перемещений, они могут использоваться и для передачи вращательного движения. На фиг. 5.44 показано устройство для передачи вращательного движения через сильфон с помощью качающегося штока. [c.222]

Ввод вращающихся валов. Передача вращательного движения в вакуум может осуществляться с помощью сильфонного уплотнения, однако чаще для этой цели применяются сальниковые уплотнения с резиновыми и металлическими шайбами, смазываемыми высококачественным вакуумным маслом. Сильфонное уплотнение с качающимся [c.387]

Сильфон представляет собой гофрированную металлическую трубку, которая благодаря гофрировке легко сгибается и растягивается. Вентили к трубопроводам вакуумной системы присоединяют с помощью разборных фланцевых соединений с резиновым уплотнением. [c.246]

В сильфонном вентиле клапан при помощи сильфона герметически связан с крышкой вентиля, чем достигается герметичность внутренней полости. На рис. 7-15 показан сильфонный вентиль с резиновым уплотнением между седлом и клапаном. Один край сильфона припаивается к крышке, другой — к клапану. Пайка делается мягким припоем сплошным вакуумным швом. В крышке корпуса просверливается сквозное отверстие диаметром 1,5 мм, которое соединяет внутреннюю полость сильфона с атмосферным воздухом. Отверстие нужно для проверки герметичности поворотного механизма после его окончательной сборки. Такие вентили применяются для трубопроводов диаметром не более 100 мм. Для установок, работающих в условиях очень высоких или очень низких температур, а также очень высокого вакуума, применяются вентили с металлической прокладкой между седлом и клапаном (рис. 7-16). В этих вентилях уплотнение осуществляется за счет плотного прилегания конического клапана к цилиндрическому седлу. Клапан может [c.150]

На рис. 92 показаны конструкции вентилей, наиболее часто встречающихся в вакуумной технике. В неавтоматизированных промышленных установках для перекрытия магистралей с диаметром до 30 мм широко применяются металлические вентили с ручным приводом и резиновым уплотнителем (см. рис. 92, а, б). Усилие уплотнения вентиля создается винтовой парой 4 и 5, воздействующей на резиновый клапан 2 и уплотняющей его по металлическому седлу, изготовленному заодно с корпусом 1. Для удобства сборки привод вентиля с подвижным сильфонным уплотнением 3 смонтирован на фланце 8 и представляет отдельный узел. [c.109]

Передача вращательного движения осуществляется с помощью сильфонного или сальникового уплотнения с резиновыми и металлическими шайбами, смазанными вакуумным маслом. Сильфонное уплотнение показано на 128 [c.128]

Вопрос о передаче движения в вакуумную систему рассмотрен У эбстером [2140]. Он сделал вывод, что уплотнение Вильсона лучше всех других обеспечивает передачу движения руки, однако в случае работы в высоком вакууме наибольшую гарантию против течи обеспечивает металлический сильфон. [c.151]

Во многих случаях бывает необходимо передавать движение через стенки вакуумной камеры нри помощи специального уплотнения. Вероятно, первоначально для этого использовались обыкновенные пришлифованные краны со смазкой. Наиболее распространенным материалом для изготовления кранов является стекло. Однако, если при конструировании и в работе проявлять некоторую осторожность, можно использовать и такие мягкие металлы, как латунь и медь. В настоящее время для уплотнений такого вида часто используются как металлические гибкие гофрированные трубки (сильфоны) [8], так и уплотнения с резиновыми и металлическими прокладками, или, как их часто называют, вильсоновские уплотнения [9]. В большинстве случаев это уплотнение оказывается очень надежным и несложным в обращении. Уплотнения с сильфонами также вполне надежны, однако трудность замены несколько затрудняет их экснлоатацию. [c.174]

В промышленных вакуумных установках часто применяются металлические вакуумные вентили и затворы. Для трубопроводов с условным проходом до 100 мм наибольшее распространение получили вакуумные вентили с резиновым, сильфонным или мембранным уплотнением. Для трубопроводов с условным проходом свыше 1(Ю мм наиболее целесообразно применение вакуумных затаоров с резиновым или сильфонным уплотнением. Та-Кйе затворы применяются для проходных сечений диаметром до 15СЮ мм. С помощью затворов не только увеличивается проходное сечение, но и значительно сокращается время открытия и закрытия соединительного отверстия вследствие механизированного управления затвором. При высоком вакууме необходимо примейять специальную вакуумную арматуру, которая обеспечивает большую герметичность и лучшую надежность в работе. [c.78]

На рис. 6-29,6 из обрал<ен металлический затвор, в котором в за-кры-вающей системе также применено расплавленное олово. Олово 5 помещается в чашку 6 оно плавится с помощью наружного нагревателя 1. После этого перекрывающая чашка 2 поднимается при помощи штока 5, уплотняемого сильфоном. Так как олово не смачивает железо вплоть до температуры 500°С, то чашка предварительно подвергается лужению оловом в среде водорода, для того чтобы при работе затвора повер.хность чашки смачивалась оловом. Чтобы обеспечить надежное уплотнение после прогрева, чашка имеет загнутые края. Заградительные кольца 4 необходимы для защиты вакуумной системы от расплавленного олова при открывании за- [c.349]

Герметизация запорного органа в вакуумной арматуре осуществляется с применением резинового уплотнительного кольца или с использованием металлических уплотнительных колец. Сильфонные вентили снабжаются сильфонами из коррозионностойкой стали, полугомпака Л80, фторопласта и других материалов. Вентили малого диаметра прохода (до 10 мм) могут иметь мембранное уплотнение запорного органа. Для низкого и среднего вакуума применяются шаровые краны. [c.60]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология