Тефлон скорость газовыделения

Специальные проблемы. Все типичные для напылительных систем непрерывного действия проблемы обусловлены наличием в них движущихся элементов, например, устройств для переноса подложек или для смены и совмещения масок с подложками. Трудности возникают в связи с тем. что трение в вакууме существенно выше, чем на воздухе. В результате в вакууме часто возникают различные механические неисправности типа заедания, плохого контакта маски с подложкой или невозможности их точного совмещения. Эти трудности усугубляются, если подложка подогревается, что почти всегда имеет место. Использование антифрикционной смазки из-за ее большой скорости газовыделения следует избегать, особенно если рассматриваемый элемент подвергается нагреву. В вакуумных системах для снижения трения используют дисульфид молибдена или пленка тефлона, но и нх способность выдерживать нагрев без значительного увеличения газовыделения ограничена. [c.309]

Пластмассы, так же как и резины, имеют большую скорость газовыделения, поэтому их редко используют в вакуумных системах с давлением ниже мм рт. ст. Исключением из этого правила, как следует из табл. 2-7, являются политетрафторэтиле-ны (тефлон, фторопласт и др.) и политри-фторхлорэтилены (хостафлон и др.) Имеются сведения 0. 77], что в ряде случаев полиэтилен (см. табл. 2-14) также может надежно применяться при давлениях в области 10 мм рт. ст. [c.31]

Область рабочих температур фтороуглеродов (фторопластов) шире, чем у любых других пластиков. Они могут работать при температурах от —100 до -Ь300°С. Так как скорость газовыделения их очень мала, они могут использоваться для изготовления элементов высоковакуумных систем (табл. 2-7). Тефлон и аналогичные ему пластики (табл. 2-14) выпускаются в виде труб с внутренним диаметром от 0,5 до 90 мм, толщиной стенок от 0,25 до 17 мм и длиной вплоть до [c.39]

Эластомеры. Скорости выделения газов эластомерами и другими органическими материалами были измерены рядом исследователей. В табл. 8 приведены некоторые данные для наиболее интересных с точки зрения вакуумной технологии материалов этого типа. Дополнительная информация о кривых обезгаживания для эластомеров и эпоксидных смол может быть получена в работах [234] и [235]. После прогрева скорость газовыделения эластомеров имеет значения 10" —10 мм рт. ст.<л-с > см- . Газовыделение тефлона значительно ниже, но, к сожалению, этот полимер не склеивается и течет под давлением, см. разд. 4 Б, 2) и табл. 17. Важное значение при выборе из имеющихся в наличии эластомеров материала для прокладок имеет их термическая стабильность. В идеальном случае эластомер должен выдерживать без разложения нагрев до 400° С, т. е. до температур, требуемых для обезгаживания стекла и металлов. Такого материала не существует. Витон А, сополимер гексафторпропилена и фтористого вини-лидена обладает наиболее приемлемыми компромиссными свойствами. Его можно прогревать до 200° С, т. е. до значительно более высокой температуры, чем выдерживают большинство других синтетических каучу-ков. Как следует из табл. 8, слабый прогрев при температурах 100 — 200° С уменьшает газовыделение эластомеров на один — два порядка. Основным компонентом выделяемых газов являются пары воды в количествах, эквивалентных 100 и более монослоев. Вода сорбируется в тело эластомера и выделяется посредством диффузии. В случае использования ви-тона этот процесс при экспозиции его на воздухе с нормальной влаж- [c.237]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология