Методы синтеза и очистки полупроводниковых соединений Выращивание монокристаллов

МЕТОДЫ СИНТЕЗА И ОЧИСТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СОЕДИНЕНИЙ. ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ [c.56]

Многие химические процессы, применяемые в промышленности, и главным образом в основном химическом синтезе, основаны на реакциях твердой фазы с газом. К таким процессам относятся, например, получение металлов восстановлением газами, обжиг сульфидных руд, получение основных полупродуктов неорганического синтеза — аммиака, серной кислоты и многих органических соединений методами гетерогенного катализа, а также очистка веществ и выращивание монокристаллов (полупроводниковая промышленность). Очень важно здесь то, что в таких гетерогенных системах концентрация дефектов зависит не только от температуры, но и от равновесия между соответствующими компонентами твердой и газовой фаз. Так, например , состав решетки NiO меняется при увеличении парциального давления кислорода, причем в результате окислительно-восстановительной реакции увеличивается количество ионов О - в решетке и одновременно образуется эквивалентное количество ионов Ni +. В соответствии с требованиями об электронейтральности системы в целом, в решетке появляются катионные вакансии [c.435]

Летучие хлориды широко используют в современной технике для выращивания монокристаллов, эпитаксиальных слоев и синтеза полупроводниковых соединений. Из применяющихся в настоящее время методов глубокой очистки хлоридов элементов [1, 2] наибольшее распространение получил метод ректификации. Однако при этом возникает возможность загрязнения химически активных хлоридов материалом аппаратуры, а коэффициент разделения для некоторых примесей при фазовом переходе жидкость — пар мало отличается от единицы. [c.104]

Антимонид индия является в настоящее время наиболее изученным полупроводниковым соединением. Это обусловлено, главным образом, тем, что его синтез, очистка, кристаллизация и легирование не представляют больших трудностей, чем очистка и выращивание легированных монокристаллов германия. Кроме того, различные методы очистки исходных компонентов— индия и сурьмы — достаточно эффективны и позволяют достигать чистоты 99,9999%, химическая активность компонентов и синтезированного соединения при их температурах плавления невелика, и поэтому не возникает проблема выбора и изготовления специальных контейнеров (тиглей и лодочек). [c.466]

В практикуме описаны лабораторные работы по химии и технологии полупроводни ков. Пособие предназначено для изучения основных методов физико-химического ис следования конденсированных систем (ДТА, тензиметрические методы, построенИ Р—7— -диаграмм, методы микроструктурного анализа и микротвердости), различны. методов синтеза, кристаллизационной очистки и выращивания монокристаллов полу проводниковых соединений, а также зтгакомит с основными технологическими опера днями в производстве полупроводниковых приборов (окисление, диффузия, эпитаксия травление). [c.2]