Диоксид кремния, травление

Для удаления всех этих загрязнений можно использовать жидкостную очистку, высокотемпературное окисление, плазменные методы и шлифование. При жидкостной очистке применяют растворы кислот, оснований и органические растворители (спирты, кетоны, хлорированные углеводороды, фреоны и др.). Воду и незначительные количества диоксида кремния можно удалить при 1000°С в кислороде, вакууме или восстановительной атмосфере. Метод нельзя использовать в случае, когда высокая температура изменяет свойства подложки, например, диффузионных слоев. Диоксид кремния, кроме того, удаляют плавиковой кислотой с добавками или травлением плазмой. Для других неорганических загрязнений используют сильные неорганические кислоты или окислительные смеси типа хромовой. Жидкостная очистка производится погружением, обработкой парами растворителя, ультразвуком и пульверизацией. Очистка парами растворителя очень распространена и эффективна, особенно если сочетается с пульверизацией. Рекомендуется использовать негорючие растворители (фреоны, хлорированные углеводороды), [c.16]

В литературе описан ряд методик, позволяющих сделать внутреннюю поверхность стеклянного капилляра шероховатой. С этой целью применяют травление различными жидкими или газообразными реагентами или их растворами, нанесение слоя хлорида натрия, карбоната бария, сажи или диоксида кремния и травление поверхности плазмой. [c.62]

Наиболее современный способ предварительной обработки внутренней поверхности стеклянного капилляра — это травление поверхности низкотемпературной плазмой [142]. При пониженном давлении под действием высокочастотного разряда фторсодержащие соединения, в данном случае фторид углерода, дают плазму, содержащую атомы, свободные радикалы и возбужденные молекулы. Авторы работы [142] полагают, что травление происходит в результате реакции радикалов фтора с диоксидом кремния на поверхности стекла. В качестве фторированного соединения использовался Ср4. [c.79]

Диоксид кремния Ц7]. Для травления диоксида кремния используют смесь водных растворов плавиковой кислоты (50%-ный) и фторида аммония (40%-ный)е В табл. 3.20 показана зависимость скорости травления от соотношения плавиковой кислоты и фторида аммония. [c.247]

Предлагались и другие способы предварительной обработки, такие, как нанесение на поверхность слоя диоксида кремния [39] или образование ворсистой поверхности [33, 40], но колонки с такими поверхностями относятся скорее к типу ОЗПС, чем к типу ОНПС. Следует ожидать, что такие колонки будут обладать большей емкостью, т. е. содержать большее количество неподвижной жидкой фазы на единицу длины, и следовательно, характеризоваться меньшими значениями р, однако при этом следует ожидать и пропорционального уменьшения их эффективности (см. гл. 1). Большинство исследователей вытягивают толстостенные трубки и получают толстостенные капилляры, например с внутренним диаметром 0,25 мм при наружном диаметре 0,75—1,0 мм. Стандартные стеклянные трубки дают капилляры с более тонкими стенками, например с внутренним диаметром 0,25 мм при наружном 0,5 мм. Те, кто предпочитает толстостенные капилляры, отмечают их повышенную жесткость и прочность те же, кто предпочитает тонкостенные капилляры, утверждают, что такие капилляры более гибки, благодаря чему с ними легче работать, и в частности легче распрямлять концы колонки, с тем чтобы как можно глубже заводить их во входные отверстия детектора (см. ниже). Большая гибкость капилляров из стандартных трубок, по-видимому, представляется удобной тем, кто для нанесения неподвижной жидкой фазы пользуется модификацией способа Голея с нагреванием открытого конца колонки (разд. 3.3) однако этот способ одинаково эффективен как для тонкостенных, так и для толстостенных капилляров. Капиллярные колонки изготавливали и из боросиликатного, и из натрий-кальциевого стекол. Утверждают, что натрий-кальциевое стекло обладает двумя преимуществами оно легче травится- (большинство колонок с травленой поверхностью изготавливают из натрий-кальциевого стекла) и обладает большей гибкостью, благодаря чему колонки из этого стекла реже растрескиваются под действием воздушных потоков в печи и т. д. Однако поверхность такого стекла содержит ионы кальция [c.40]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология