Вспышки, испарение конструкция испарителя

Распределения были получены при испарении шариков из Сг — 510 методом вспышки [137]. Конструкция испарителя приведена на рис. 43. Испарение шариков происходит почти полностью с плоского дна ленты испарителя. Однако наличие боковых стенок, необходимых для предотвращения выброса испаряемого вещества, оказывает существенное влияние на форму распределения по толщине. Показано, что скорость подачи шариков (порядка 1 г/мин) мгновенно создает давление паров свыше 2 X X 10 1 мм рт. ст. Следовательно, могут оказаться существенными взаимодействие как со стенками, так и с самим возникшим паром. Сравнение кривых, приведенных на рис. 30, показывает, что использование отклоняющего экрана в виде конуса существенно уменьшает эффект направленности, поскольку в этом случае для паров испаряющегося вещества увеличивается диаметр отверстия. Абсолютные скорости испарения зависят от степени направленности пучка. Так например, применение цилиндрического экрана приводит к тому, что толщина осажденной пленки в центре подложки в 1,45 раза превосходит толщину, рассчитанную из уравнения (62), тогда [c.86]

Во избежание потерь, связанных с отскоком или растрескиванием гранул, используется испаритель, приведенный на рис. 43. В этом испарителе над накаленной лентой помещаются танталовый цилиндр и отдельный металлический конус. При этом можно заменять ленту, не меняя конуса. Контроль температуры в этой конструкции облегчен тем, что испаритель снабжен термопарой, конец которой прижат пружинным контактом ко дну ленты. Такой испаритель при загрузке гранулами, содержащими 30 мол % SiO, позволяет получать пленки, состав которых отличается от исходного лишь на 1%. При больших концентрациях SiO степень отклонения состава пленки несколько увеличивается. Более того, если исключить потери вещества, связанные с отклонением, то скорость испарения при методе вспышки ограничена лишь подводимой к испарителю мощностью, т. е. скорость подачи вещества можно увеличивать до тех пор, пока [c.132]

При применении метода вспышки большое значение имеет выбор материала и конструкции испарителя. Испаритель должен работать при температурах порядка 2000° С без испарения самого вещества испарителя и несильно реагировать с испаряемым веществом. Для этих целей используют плоские ленты тугоплавких металлов, нагреваемые электронной бомбардировкой. При этом испаряемое вещество подается в виде проволоки [114, 257]. Вильсон и Терри [264] испаряли порошки методом вспышки с вольфрамового диска, нагреваемого электронной бомбардировкой. Наиболее общим методом является, однако, испарение из прямовакальных испарителей из тугоплавких металлов. Простейшим испарителем является плоская вольфрамовая лента толщиной 125 мкм, которую можно легко изготовить и заменить для нового эксперимента. Последнее соображение является немаловажным, поскольку вольфрам сплавляется с большинством из веществ, приведенных в табл. 15, и время жизни испарителя ограничено. В случае — соединений, для которых требуются более низкие [c.131]

При испарении пленок керметов методом вспышки скорость осаждения довольно хорошо контролируется скоростью подачи испаряемого вещества. В этом случае можно оценить время, необходимое для осаждения безопасной толщины порядка 100—200 А, и соответственно задержать подачу напряжения на датчик [137]. В схеме, предложенной Штекельмахером с сотрудниками [333], предусмотрено изменение напряжения моста с тем, чтобы мощность, рассеиваемая в датчике, не превосходила 50 мВт. Точность, с которой может быть получено предварительно выбранное поверхностное сопротивление пленки, составляет 1—2%. При этом чувствительность схемы измерения и схемы прекращения процесса на заданной величине, обусловленной либо сопротивлением сравнения, либо двоично-кодированным десятичным ключом, позволяют получить большую точность. Реальные величины оказываются несколько завышенными. Дело в том, что после того, как управляющий сигнал разрывает цепи испарителя, процесс испарения еще продолжается (но с меньшей скоростью) до тех пор, пока испаритель не остынет. Наиболее часто используется конструкция заслонки, позволяющая быстро прерывать поток газа. Однако ей свойственна инерционность, вследствие которой закрытия не происходит в тот же момент, когда поступает сигнал на соленоид. Имея некоторый опыт, можно предвидеть степень превышения и компенсировать это небольшим изменением величины сравнения в селекторе конечной величины. Однако сопротивление свежеосажденных пленок легко подвержено изменениям при последующем охлаждении, экспонировании на воздухе и в процессе отжига. Следовательно, электрический контроль конечной величины поверхностного сопротивления может быть очень хорошо установлен и нет необходимости учитывать относительно малое увеличение вследствие указанной выше инерционности. [c.158]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология