Газовыделение из испарителей

Вакуумноплотные вводы высокого и низкого напряжения, а также вводы вращения осуществляются через базовую плиту. Непосредственно над плитой расположена карусель испарителей 5, а над ней карусель масок и карусель подложек. Расположенные над опорным диском 3 шестерни 7 служат для передача вращения каруселям, для смены масок и подложек. Над опорным диском расположен также кварцевый измеритель 6 толщины пленки. В качестве изоляции используется фторопласт, обладающий малым газовыделением. [c.277]

В сверхвысоковакуумных системах газовыделение, обусловленное испарителями, намного превышает вклад всех остальных процессов выделения газа. Все преимущество таких систем в отношении глубины вакуума оказывается совершенно бесполезным до тех пор, пока исходная чистота испаряемого вещества и материала испарителя не будут улучшены до соответствующего уровня, а методы предварительного их обезгаживания не будут отработаны до требуемого совершенства. Большая часть сверхчистых материалов, включая и тугоплавкие металлы, в настоящее время получается методом многократной зонной плавки [312]. Качество таких материалов, по-видимому, можно еще улучшить, если процессы очистки проводить в условиях сверхвысокого вакуума [313]. [c.305]

Предметом неустанного внимания конструкторов систем непрерывного действия является вопрос разработки специальных испарителей большой емкости, не требующих частой загрузки. Для этой цели были сконструированы увеличенные экранированные сублимационные и тигельные испарители. Чтобы избежать повышенного газовыделения из-за нагрева стенок камеры за счет большой рассеиваемой такими испарителями мощности, необходимо использовать радиационные экраны, по возможности охлаждаемые водой. Альтернативой источника с увеличенными размерами является небольшой испаритель с механизмом подзарядки. Уже разработаны конструкции различных типов проволочных, порошковых и гранульных фидеров, см. разд. 6В, 3), гл. 1. В линейках типа представленной на рис. 94 с успехом используется загрузка в испаритель металлических гранул с помощью манипулятора (например, качающегося ввода). Манипулятор захватывает заранее размещенные возле испарителя гранулы и сбрасывает их в тигель. [c.310]

Для получения зеркальной серебристобелой алюминиевой пленки, обладающей высокой отражательной способностью, необходимо, чтобы испаритель был по возможности удален от алюминируемой поверхности. По мере увеличения расстояния от испарителя до алюминируемой подложки уменьшается нагрев подложки под действием прямого излучения от испарителя. В результате зтого снижается газовыделение подложки и особенно нанесенных на нее покрытий и соответственно уменьшается вероятность окисления [c.300]

Для ввода проб газос азных жвдких и твердых веществ л испаритель хроматографа. Конструкция обеспечивает предотвращение ложных пипов, возникающих вследствие газовыделения уплотнительной мембраны и эффекта памяти в испарителе хроматографа ввод проб [c.94]

При необходимости получения очень чистых пленок широко практикуется предварительное обезгаживание источника при температуре несколько ниже рабочей. Однако очень часто такая процедура оказывается недостаточной, и при повышении температуры до рабочей наблюдается еще существенное выделение газа. Еще одним способом улучшения чистоты пленки является экранирование подложки в начале процесса испарения до тех пор, пока не улучшится вакуум. В обычных установках для напыления уровень рабочего вакуума можно несколько повысить за счет уменьшения газовыделения из смежных с испарителем поверхностей, нагреваемых излучением. Десорбция газа с этих поверхностей быстро возрастает в процессе испарения по мере увеличения их температуры. Эта проблема в какой-то мере решается установкой радиационных экранов из тугоплавких металлов и использованием водяного охлаждения для снижения температуры токоБводов. Для защиты стенок камеры от радиационного нагрева полезно также применять рубашки, охлаждаемые жидким азотом. [c.305]

Обычно после включения испарителя происходит кратковременное повышение давления в насосе из-за газовыделения с нагреваемых деталей. Затем давление быстро уменьшается и достигает 10 ° тор, если система хорошо обезгажена прогревом. [c.200]

Распыление алюминия на экран следует вести при минимально возможной температуре вольфрамовой спирали, т. е. при минимальном токе накала. Снижение температуры спирали уменьшает нагрев и газовыделение люминесцентного и аквадагового покрытий в момент распыления алюминия и соответственно уменьшает вероятность окисления алюминиевой пленки. Перегрев испарителя может привести также к нарушению его геометрической формы. Рекомендуется вначале медленно нагреть испаритель до температуры, при которой алюминий расплавляется, но не распыляется, и выдержать при этой температуре в течение 30—40 сек. В этот промежуток времени излучение от расплавленного алюминия нагревает и частично обезгаживает покрытия в колбе и, кроме того, обезгаживается и алюминий. Только после обезгаживания увеличивают накал испарителя и распыляют алюминий. Следу- [c.301]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология