Индукционный нагрев испарителей

В индукционных испарителях металл, подлежащий распылению, окружается индуктором, представляющим собой один или несколько медных водоохлаждаемых витков, по которым проходит ток высокой частоты. Созданное этим током переменное магнитное поле вызывает в металле вихревые токи, которые и нагревают его до температуры испарения. Индукционный нагрев обеспечивает высокую плотность тока в испаряемом металле. [c.216]

Высокочастотный индукционный нагрев имеет некоторые преимущества перед радиационным нагревом. Так как часть энергии связана непосредственно с испаряемым металлом, то нет необходимости поддерживать температуру нагревателя или тигля для создания теплового потока выше температуры испарения. Это уменьшает взаимодействие между испаряемым веществом и стенками тигля. Кроме того, использование энергии, питающей испаритель, является более эффективным, чем в случае применения источника накала, так как потери за счет излучения и теплопроводности при индукционном нагреве меньше. Кроме того, отпадает потребность в специальных радиационных экранах, так как в этом случае используется окружающая тигель индукционная катушка, охлаждаемая водой. [c.68]

С и не взаимодействующие с керамиками, часто испаряют из небольших тиглей (из АЬОз, ВеО и др.), нагрев которых осуществляется с помощью вольфрамовых или молибденовых спиралей путем пропускания через них тока. Иногда в качестве испарителей используются спирали из вольфрамовой проволоки, в которые помешаются кусочки испаряемого вещества. Для испарения тугоплавких металлов применяется нагрев с помощью электронной бомбардировки [6]. Нагрев металлов электронным лучом достаточно прост и обеспечивает максимальную чистоту при проведении экспериментов. Значительно реже для получения тонких пленок используется индукционный нагрев или нагрев током (для проволочных образцов). Следует отметить, что получение тонких конденсированных слоев требует большой тщательности проведения эксперимента. Особое внимание должно уделяться чистоте используемых материалов, обеспечению высокого вакуума (<10 — 10 мм рт. ст.), тщательному контролю всех параметров ведения процесса. Можно с уверенностью сказать, что иногда неконтролируемые условия (загрязнение подложки, присутствие паров масла или воды, случайные изменения режимов испарения и др.) приводят к изменению структуры пленок. Имеющиеся в различных работах несоответствия, а также невоспроизводимость экспериментальных результатов связаны, по-видимому, с неодинаковой тщательностью проведения опытов. [c.15]

При помощи индукционного нагрева возможно осуществить бестигельное распыление металла из капли, находящейся во взвешенном состоянии в электромагнитном поле индуктора. При этом целиком отпадают проблемы, связанные с взаимодействием между испаряемым веществом и испарителем. Однако такого рода нагрев еще недостаточно разработан. [c.217]

Испарителям придают разнообразные конструктивные формы. Главные типы испарителей — тигельные и бестигельные с непосредственным (прямым) нагревом и нагревом по механизму теплопередачи. Прямой нагрев осуществляют пропусканием электрического тока через испаряемое тело (омический способ), возбуждением индукционных токов в испаряемом теле, воздействием электронного либо лазерного луча, воздействием плазмы. [c.38]

Для испарения, кроме джоулева или индукционного нагревов, можно также использовать нагрев материалов электронной бомбардировкой. Для этого поток электронов в электрическом поле ускоряется до энергии от 5 до 10 кэВ и фокусируется на поверхности материала. При столкновении большая часть кинетической энергии частицы превращается в тепловую энергию и при этом могут быть получены температуры свыше 3000° С. Так как энергия передается заряженными частицами, то она может быть сконцентрирована только на поверхности испаряемого вещества, в то время как сам испаритель остается при более низкой температуре. Следовательно, взаимодействие между испаряемым веществом и материалом испарителя сильно уменьшается. Этот метод практически может быть осуществлен в большом числе вариантов. Существует целый ряд разнообразных испарителей, описанных в отдельных статьях и в обзорах Холленда [97] и Берндта [60]. Испарители можно классифицировать по методам ускорения электронов или по способам закрепления испаряемого вещества в испарительной системе. [c.71]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология