Симметричные системы ВЧ распыления

До сих пор мы имели дело с электродами, равными по площади. Включение разделительного конденсатора в цепь высокой частоты такой симметричной системы никак не повлияет на ее работу. Следовательно, на один или оба электрода можно нанести диэлектрик, который под действием ионной бомбардировки будет распыляться. Несколько таких систем с симметричными электродами имеется в продаже. Увеличи.м теперь площадь одного из электродов. Если во внешней цепи постоянная состая-ляющая напряжения выделиться не может, то при подаче на электроды отрицательной полуволны напряжения, максимальные толщины ионных оболочек на этих электродах останутся равными, если только плотное плазмы у обоих электродов будут одинаковыми. Однако при положительной полуволне напряжения на меньшем электроде в этот электрод в.хо-дит большее количество электронов, чем в электрод большей площади в следующий полупериод. Разделительный конденсатор, включенный в ВЧ цепь, заряжается теперь несимметричным током, в результате чего электрод меньшей площади оказывается под большим отрицательным потенциалом, чем электрод большей площади. Вследствие этого толщина ионной оболочки и энергия бомбардирующих ионов у электрода большей площади оказываются меньшими. Взяв большое отношение площадей электродов, энергию ионов, бомбардирующих электрод большей площади, можно уменьшить до величины, меньшей порога распыления. Более подробно этот вопрос будет обсуждаться в гл. 4. Устройство и действие системы с цилиндрической геометрией (провод, про.чодящий по осл цилиндрического электрода большей площади) такие же, как и в первых газоразрядных выпрямителях. Как отмечалось ранее, конденсатор можно [c.367]

Рассмотренная нами картина, конечно, очень упрощенная, предназначена для того, чтобы помочь читателю понять основные явления, происходящие при ионном (особенно при высокочастотном) распылении. При рассмотрении отдельных деталей процессов остается большой простор для дискуссий, измерений и уточнений. Например, мы не можем согласиться с мнением Тумбса [40], который, в отличие от Холлэнда и др. [41], считает, что в вопросе о том, до какого потенциала относительно плазмы заряжается подложка, нет разницы между одноэлектродной и симметричной системами ВЧ распыления. В одноэлектродных системах заземленный держатель подложек является неотъемлемой частью ВЧ схемы и увеличивает площадь анода . В симметричных системах подложка может иметь плавающий потенциал. Если подложка не будет находиться в области ионной оболочки мишени, ее плавающий потенциал должен быть близок к потенциалу плазмы или быть несколько более отрицательным, точно так же, как плавающий потенциал электрода, помещенного в Плазму постоянного тока. Хотя температура электронов в ВЧ плазме низкого давления и весьма высока, однако не следует ожидать, что этот отрицательный потенциал намного превысит порог распыления, если только вторичные электроны, выбиваемые из мишени, не будут попадать на подложку и изменять ее заряд. [c.368]

Наряду с рассмотренными асимметричными системами ВЧ распыления было разработано несколько симметричных систем, в которых два высокочастотных электрода имеют одинаковые площади. Как мы уже говорили, в таких устройствах для проведения ВЧ распыления разделительный конденсатор во внешнюю цепь можно не включать. По-видпмому, основная цель создания таких конструкций заключается в том, чтобы исключить любую возможность распылении заземленного электрода. Кроме того, так как в этом случае используются два электрода-мишени, их можно взаимно располагать таким образом, чтобы улучшить однородность осаждаемых пленок по толщине. Две конструкции, в которых реализуются этн идеи, представлены на рис. 3 . На рис. 31,а изображен дисковый электрод, расположенный концентрически внутри кольцевого электрода такой же площади, причем оба электрода закрыты одним диском распыляемого диэлектрика [134]. В конструкции, показанной на рис. 31,6, возможно как прямое распыление самих электродов, так и распыление диэлектрических мишеней, помещаемых на поверхносгь этих электродов [135]. Заметим, что часто с целью большей безопасности заземляют среднюю точку вторичной обмотки выходного трансформатора ВЧ источника питания подобных систем. В этом случае система уже не будет симметричной ее следует рассматривать как устройство с двумя электродами, на которые ВЧ напряжение относительно заземленных чаете) устройства (играющих роль электрода большей площади) подается со сдвигом фазы на 180°, [c.450]

Иа рис. 12 приведена схема расположения оборудования стенда для исследования форсунок на топливе (ооляре) Стенд (рис. 13, а) представляет собой вертикальную камеру высотой 4 м с квадратным поперечным сечением 1,8 X 1,8 ми размещен в двухэтажном помещении. Часть стенда, находящаяся в верхнем этаже, обшита плексигласом. Испытываемые форсунки устанавливаются вверху камеры в вертикальном положении, чем обеспечивается симметричность распыленной струи. Внутри камеры имеется подвижная рама (рис. 13, б), которая при помощи системы блоков, т4)осов и лебедки перемещается по, всей высоте камеры, оставаясь все время в горизонтальном положении. Иа раме мог т быть устано-, влены приспособление из двух перпендикулярных подвижных линеек для измерения геометрических параметров распыленной струи у устья форсунки, угла распыливания, конфигурации начального участка струи, длины сплошного участка и др. кольцевой сборник, служапщй для определения плотности орошения [c.42]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология