Электронно-зондовые методы

Таблица 10.2-1. Электронно-зондовые методы

Электронно-зондовые методы 325 [c.325]

Л. а. микровключений и микроучастков осуществляют электронно-зондовыми методами, ионным микроанализом и др. [c.611]

Поскольку бомбардировка электронами вызывает распад в-ва, при анализе и изучении хим. связей применяют вторичное излучение, как, напр., в рентгеновском флуоресцентном анализе (см. ниже) и в рентгеноэлектронной спектроскопии. Только в рентгеновском микроанализе (см. Электронно-зондовые методы) используют первичные рентгеновские спектры, т. к. пучок электронов легко фокусируется. [c.239]

Электронно-зондовые методы 321 [c.321]

ЭЛЕКТРОННО-ЗОНДОВЫЕ МЕТОДЫ [c.321]

По сравнению с фотонно-зондовыми методами, электронно-зондовые методы обладают рядом особенностей [c.322]

Электронно-зондовые методы 329 [c.329]

Основы теории электронно-зондовых методов Проникновение электронов в твердое тело [c.322]

Электронно-зондовые методы 335 [c.335]

Электронно-зондовые методы [c.323]

Электронно-зондовые методы 339 [c.339]

Особой и быстроразвивающейся областью рентгеноспектрального анализа является так называемый локальный анализ электронно-зондовым методом. Метод состоит в бомбардировке электронами высокой энергии (порядка 10—25 кэВ) участков поверхности образца диаметром 0,1... 10 мкм, в результате которой возникают характеристические рентгеновские излучения. Соответствующая система диспергирования лучей и детектирования дает возможность обнаруживать и определять элементы до Z 4 (бериллия). Этот метод применяют для установления состава и неравномерности распределения отдельных элементов в зернах металлов, кристаллах полупроводников и т. д. приборы носят название рентгеновских микроанализаторов (МАР). [c.200]

Мы разделили электронно-зондовые методы на две группы методы с высокой поверхностной чувствительностью и методы с плохой поверхностной чувствительностью, но высоким пространственным разрешением. Какие явления обусловливают эти различные свойства [c.386]

Цель настоящего обзора — ознакомить читателя с основными принципами и возможностями электронно-зондовых методов в исследованиях атомной, электронной, микроскопической структуры и химического состава поверхности и тонких пленок. Здесь будут кратко рассмотрены механизмы взаимодействия электронного зонда с веществом и виды вторичного излучения будет дано общее описание электронно-зондовых устройств с указанием характеристик отдельных методов просвечивающей и [c.216]

ПРИМЕНЕНИЕ ЭЛЕКТРОННО-ЗОНДОВЫХ МЕТОДОВ [c.237]

Л. а. субмикронных и поверхностных слоев проводят методами рентгеноспектрального анализа (см. Электронно-зондовые методы), катодолюминесцентного микроанализа, спектроскопии рассеяния быстрых ионов (резерфордовского рассеяния), масс-спектрометрии вторичных ионов в динамич. режиме, оже-спектроскопии и др. При послойном анализе субмикронных слоев без разрушения образец бомбардируют заряженными частицами (электронами, ионами). В зависимости от их энергии меняется глубина, на к-рой происходят процессы, приводящие к появлению аналит. сигнала - рентгеновского излучения, резонансных ядериых р-ций, резерфордовского рассеяния и др. Послойный анализ можно также проводить, варьируя угол отбора, т.е. угол, под к-рым к исследуемой пов-сти располагается приемник аналит. сигнала. [c.610]

Электронное зондирование является почти идеальным способом комплексного исследования поверхности и тонких пленок. Атомно-электронная структура, микроструктура и химический состав, определяющие свойства вещества, — таков диапазон характеристик, получаемый от слоев толщиной от 1 нм до 10 мкм. Сочетание наглядной и аналитической информации, высокие чувствительность и локальность но площади и глубине, простота и дешевизна источников электронных пучков ставят электронно-зондовые методы вне конкуренции. [c.243]

Анализ микрообъектов. При рентгено-флуоресцентном анализе к поверхности образца не предъявляются столь высокие требования, как при электронно-зондовом методе. [c.80]

Химия пов-сти твердых тел (см. подробнее Химия твердого изучение особенностей кристаллич. и электронной струггуры приповерхностных слоев твердых тел и закономерностей адсорбции на ней в-в как из газовой фазы, так и из объема тела. Развитие этой области связано с применением многочисл. новых методов исследования (см., иапр.. Рентгеновская спектроскопия. Фотоэлектронная спектроскопия, Электронно-зондовые методы, Дифракционные методы, Эллипсометрия), к-рые дают сведения о разл. по толщине и площади приповерхностных слоях. [c.434]

Для H.a. примешпот методы рентгенофлуоресцентного, активационного, рентгенорадиометрич. анализа и др. Когда спец. подготовки образца х анализу не требуется, H.a. можно проводить методами локального анализа (ионный микроанализ, электронно-зондовые методы, методы фотоэлектронной и рентгеноэлектронной спектроскопии, масс-спектрометрия вторичных ионов и др.). [c.220]

Ф. а. металлов и сплавов появился впервые в кон. 19 в. как анализ осадка , т. е. нерастворенного остатка после обычной аналит. процедуры р-рения металла в к-те. Такие осадки состояли из карбидов и оксидов элементов, входящих в состав сталей. Осмысление результатов этого анализа послужило стимулом к поискам более точных и управляемых методов вьщеления как существенных фазовых составляющих - карбидов и нитридов, так и примесей неметаллич. включений -оксидов, сульфидов и т. п. В результате этого в 30-х гг. 20 в. возникли разл. варианты анодного растворения. Теория электрохим. фазового анализа сплавов была разработана только в 50-х гг. 20 в. в связи с определением интерметаллидных соед. в жаропрочных сплавах. Одновременно произошла стыковка такого Ф. а. с др. первоначально особым направлением аналит. химии в металлургии - анализом 1азообраз то-щих примесей в металлах. Для Ф. а стали использовать физ. методы, прежде всего рентгеновский фазовый анализ, электронографию, а также электронно-зондовые методы, методы эмиссионного спектрального анализа, резонансные методы (напр., ядерный магнитный резонанс). [c.56]

С помощью соответствующих детекторных систем и спектрометров в РЭМ можно регастрировать электромагн. излучения катодолюминесценцию, тормозное и характеристич. рентгеновские излучения, а также оже-элж1роны. Получаемые при этом изображения и спжгры дают количеств, информацию о локальном элементном составе поверхностных слоев образца и широко применяются в материаловедении (см. Электронно-зондовые методы). [c.440]

ЭЛЕКТРОННО-ЗОНДОВЫЕ МЕТОДЫ, физ. методы исследования и локального анапиза пов-сти твердых тел с помощью пучка сфокусированных электронов (зонда). Пучки электронов получают с помощью электронной пушки - вакуумного устройства, обычно диода, в к-ром электроны вылетают из катода благодаря гл. обр. термоэлектронной эмиссии и ускоряются электрич. полем. Фокусировку пучков осуществляют электронными линзами, создающими необходимые электрич. и магн. поля. В Э.-з. м. используют первичные медленные (с энергаей Ец 10-10 эВ) и быстрые ( 10 -10 эВ) электроны. [c.443]

Электронный зонд представляет собой сфокусированный пучок электронов, ускоренных в вакууме до различных значений энергии (10—10 эВ). Электроны взаимодействуют с веществом и дают сведения о весьма тонком слое (на практике локальность по глубине в зависимости от вида выходного сигнала составляет от нескольких микрометров до долей нанометра). Возможность относительно легкой фокусировки пучка электронов обеспечивает и высокую локальность по поверхности. Так, при достаточной яркости пучка диа.метр зонда в десятки нанометров дает для тонких пленок тот же порядок локальности. В менее благоприятных случаях она составляет несколько микрометров, и продолжающееся совершенствование электронно-зондовой техники сдвигает эту границу в субмикронную область. Чувствительность электронно-зондовых методов к следам элементов является одной из наиболее высоких среди аналитических методов. При стандартной локальности порядка долей кубического микрометра предел обнаружения метода доходит до 10 —10 г, что позволяет определять ничтожные количества веществ. Характерной особенностью электронного зондирования является его экспрессность. Информация выдается непосредственно в ходе эксперимента, причем ее можно одновременно наблюдать на дисплее и фиксировать на записывающих устройствах. Совершенствование фототехники и применение компьютеров позволяет получать разнообразные сведения об объекте за короткий отрезок времени. Хотя взаимодействие электронного зонда с веществом может изменять электронную структуру последнего, несоизмеримость общей площади объекта и зоны облучения позволяет справедливо полагать, что в целом объект сохраняется неразрушенньрм и пригодным для дальнейших исследований. [c.215]