Водорастворимые арилазиды в фоторезистах

IV. 3. ВОДОРАСТВОРИМЫЕ АРИЛАЗИДЫ В ФОТОРЕЗИСТАХ [c.151]

Азидсодержащие светочувствительные составы создаются на основе ароматических или гетероароматических азидов, полимеров или олигомеров и растворителей различной полярности. Среди структур арилазидов, применяемых в фотолитографической практике, можно выделить соединения, поглощающие в области 250—300 нм и используемые в фоторезистах коротковолнового УФ-света соединения с развитой системой сопряжения, чаще других бис(азидобензилиденовые) производные кетонов, поглощающие в области максимальной эмиссии ртутных ламп среднего и высокого давления 310—440 нм диазиды, включающие систему конденсированных ядер с поглощением до 600 нм, пригодные для проекционной фотолитографии. Введением сульфо-, гидрокси- или карбоксильных групп в ароматические ядра светочувствительным азидам придается водорастворимость. [c.134]

В полифункциональных фоторезистах, например использующих полученный фоторельеф для создания контактных площадок или последующей высокотемпературной диффузии, описано применение в качестве светочувствительных компонентов элементоргани-ческих арилазидов, их поглощение может лежать в области 250—400 нм. В качестве полимерной основы слоев могут быть использованы бутадиен-стирольный, хлоропреновый и натуральный каучуки циклокаучуки, полученные циклизацией полиизопрена, полибутадиена, полигексадиена в присутствии различных катализаторов полн-4-метилизопропенилкетон феноло- и крезоло-фор-мальдегидные смолы. В водорастворимых слоях используют смеси ПВП и ПВС сополимеры акриламида, диацетонакриламида и различных виниловых мономеров поли-4-винилфенол, полиакриламид, желатину, гуммиарабик, камеди. Для придания слоям по-выщенной термостойкости добавляют полиамидокислоты с последующей имидизацией или вводят, например, в циклокаучуки трифторметильные группы. Растворителями служат толуол, ксилол, цйклогексанои, их смеси часто используют такие сильные растворители как ДМАА, ДМФА, дихлорэтан для композиций, содержащих водорастворимые азиды, применяют различные спирты, водный метилэтилкетон. [c.134]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология