Точность и разрешение реплик

Зернистость напыленных слоев в настоящее время превратилась в одну из наиболее важных проблем электронной микроскопии высокого разрешения [62]. Зернистость ограничивает возможности методов оттенения и реплик, так как очевидно, что нельзя с уверенностью обнаружить детали структуры объекта, которые по своим размерам сопоставимы с размерами агрегатов в напыленных слоях. Размытость теней из-за зернистости слоя также устанавливает предел точности определения высоты объектов в методе оттенения. Поэтому возникла необходимость детального изучения зернистости напыленных слоев применительно к целям электронно-микроскопического исследования. В этом направлении сделаны пока только первые шаги. Сложность задачи обусловливается большим числом факторов, влияющих на структуру напыленных слоев. К сожалению, исследователи нередко недоучитывают это обстоятельство и проявляют склонность абсолютизировать результаты, полученные ими для частного случая. В качестве примера на фото 12 приведены микрофотографии тонких слоев различных материалов (рассчитанная толщина слоя составляла 2 [хг/сл ), полученных Фуками [63] напылением на поверхность скола кристалла каменной соли. Автор отмечает отсутствие зернистости в слоях углерода, агрегаты размером 30—50 А имеются в слоях палладия и урана и 20—30 А— в слоях платины и родия. Наилучшие результаты для тяжелых металлов дает силав платины и палладия, взятых в отношении 4 1, который автор и рекомендует для получения предварительно оттененных реплик. Вредли [64], напротив, указывает, что в случае сплава золота с нал- [c.86]

Исследование формы профиля штрихов. Измерение распределения интенсивности позволяет получить довольно полные сведения об угле блеска и качестве выполнения профиля штрихов. Однако в некоторых случаях, когда, например, необходимо сопоставить наблюдаемое распределение интенсивности с вычисленным, желательно иметь более полные сведения о форме профиля штрихов. Для решеток, имеющих 600 штр/мм и менее, при небольших углах блеска исследование профилей проводится иногда на интерференционных микроскопах. Для более мелких штрихов этот прибор неэффективен ввиду малой разрешающей способности, и детали их структуры обычно исследуют при помощи электронного микроскопа. Однако это связано со значительными трудностями. Эту задачу удается решить лишь частично, применяя специальные приемы наблюдения и обработки микрофотографий [2]. Точность определения параметров профиля штрихов этим методом значительно снижается из-за того, что исследуется не сама решетка, а ее реплика. В последние годы для той же цели стали применяться микропрофилометры особо высокого разрешения, позволяющие получать приближенный профиль штрихов даже у решеток 1200 штр/мм [47]. [c.58]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология