Полимерные соединения элементов шестой группы

Полимерные соединения элементов шестой группы [c.477]

Рассмотрим ряд диоксидов р-элементов IV группы СОз, 8102, СеОз, ЗпОз. Для С (IV) характерно координационное число два, для 81 (IV) — четыре, для Се (IV) — четыре и шесть, а для 8п (IV) — шесть. Таким образом, только состав диоксида углерода СОз отвечает устойчивому координационному числу центрального атома и потому СОз мономолекулярен. Что же касается остальных диоксидов, то они должны быть полимерными соединениями. Координационные кристаллы одной из модификаций СеОз относятся к структурному типу 810з (см. рис. 69, Б), другой модификации — к структурному типу рутила ТЮз (см. рис. 69, Б). Структуру типа рутила имеют и кристаллы ЗпОз- [c.133]

Создание и исследование резистов продолжается до сих пор с целью разработки материалов с оптимальными свойствами. Получены резисты для электроно- и рентгенолитографии, разрабатываются материалы для ионной литографии (гл. VH). Решающую роль в росте производительности литографии может сыграть повышение чувствительности резистов, поэтому с целью достижения большей светочувствительности в новых разрабатываемых позитивных резистах используется термическое усиление первичных процессов в результате каталитического действия продуктов фотолиза светочувствительного компонента на гидролиз пленкообразующего полимера. Разрабатываются новые типы резистов стойкие к ИХТ, для создания чувствительных к коротковолновому УФ-свету планаризационных слоев, для создания слоев и проявления без участия растворителей (сухие резисты) (гл. VI). Очевидно, для развития микроэлектроники необходимо создавать новые резисты, выдвигая и используя перспективные идеи. Особенно важно находить эффективные фотореакции и на этой основе получать рези . тные композиции. Так, относительно недавно была обнаружена и изучена высокая светочувствительность ониевых солей органических соединений элементов пятой и шестой групп использование полученных результатов в литографии позволило ввести в обиход в качестве полимерного компонента эпоксидные смолы (гл. III). Важным материалом для литографии оказались также полиолефинсульфоны. [c.14]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология