Лазерная масс-спектрометрия анализ локальный

Главное направление развития М. а.-использование физ. методов (напр., масс-спектрометрии, атомно-эмиссионной спектроскопии, рентгеновского локального анализа, лазерной аналит. спектроскопии). Совр. методы М. а. позволяют Б одной микропробе или на пов-сти твердого тела определять более 50-60 элементов. [c.85]

В то время как ПИМ работает исключительно с атомными изображениями поверхности острия, из которого можно получить интересующую структурную информацию, ПИМ с атомным зондом используют непосредственно для идентификации и количественного анализа атомов локального, чрезвычайно малого участка. Этот метод реализуется с помощью приложенного импульса высокого напряжения или лазерного импульса, в результате которого происходит десорбция атомов с поверхности острия, и последующего анализа ионизированных атомов во времяпролетном масс-спектрометре. Благодаря высокому локальному электрическому полю ионизируются все десорбированные атомы. [c.366]

М.-с. позволяет определять все элементы периодич. системы с чувствительностью 10 г при использовании лазерных источников ионизации м.б. достигнута чувствительность 10 г. При анализе твердых проб м.б. определены примеси, содержание к-рых в 10 ниже содержания осн. элементов. М.-с. широко применяется в анализе особо чистых металлов (Ga, Al, In, Fe, u и др.), полупроводниковых материалов (Si, GaAs, dFe), сплавов на основе Ре, Ni и Zr при произ-ве тонких пленок и порошкообразных в-в, напр, оксидов и и редкоземельных элементов. М.-с. позволяет определять содержание С, N, О, S, Р в сталях, анализировать керамику, стекла, разл. изоляц. материалы, проводить локальный и послойный анализ пробы (локальность по пов-сти до 1 мкм, по глубине до 1 мм), получать сведения о структуре и фазовом составе твердых тел. Для определения элементов используют масс-спектрометры с ионизацией образцов в электрич. дуге, искровом и тлеющем разряде или в индуктивно-связанной аргонной плазме при атм. давлении. [c.663]

При химическом анализе вкраплений, микрофаз металлических слитков, геологических и археологических образцов при послойном анализе пленок при выяснении состава пятен, штрихов в рукописях, в объектах судебной экспертизы и т. д. требуется проводить локачьный анатз. При таком анализе вводят новую характеристику метода— пространственное разрешение, т. е. способность различать близко расположенные участки образца. Пространственное разрешение определяется диаметром и глубиной области, разрушаемой при анализе. Наиболее высокое пространственное разрешение, достигаемое современными методами локального анализа, — 1 мкм по поверхности и до 1 нм (т. е. несколько моноатомных слоев) по глубине. В локальном анализе используют рентгеноспектральные методы (электронно-зондовый микроанализатор), атомно-эмиссионные спектральные методы с лазерным возбуждением, масс-спектрометрию. [c.38]