Молибден поликристаллический

Помимо эпитаксиальных монокристаллических пленок, осаждаемых на кристаллические подложки, широко используют в микроэлектронике тонкие поликристаллические и аморфные пленки других материалов. На основе подобных пленок изготавливают не только пассивные, но и активные элементы ИМС, работающие с использованием основных носителей заряда. Для данных целей применяют полупроводниковые (металлические, резистивные, диэлектрические) поликристаллические и аморфные пленки. Последние обычно получают методом вакуумного напыления. Металлические пленки, наносимые на изолирующий слой оксида кремния (IV), служат для создания внутренних соединений элементов ИМС, а также дают возможность осуществлять присоединение электрических выводов к микросхеме. Для этой цели широко применяют материалы на основе золота, никеля, свинца, серебра, хрома, алюминия, а также сплавы систем хром — золото, титан — золото, молибден — золото и некоторые другие. [c.161]

В качестве материала тиглей могут использоваться многие тугоплавкие металлы, как, например вольфрам, рений, тантал, молибден (как в виде монокристаллов, так и в поликристаллическом состоянии), а также большое число карбидов, оксидов, нитридов, имеющих высокие температуры плавления [16]. Следует отметить, что смачиваемость жидких металлов при возрастании температуры увеличивается, и они могут выползать из тиглей, нарушая (растворяя) при этом конструкцию источника, поэтому подбор тигля под кон- [c.379]

Самодиффузия в монокристаллическом и поликристаллическом молибдене [41] [c.168]

Сходная зависимость получена [40] при изучении самодиффузии в поликристаллическом молибдене в области 1870—2080° С [c.168]

Механическая релаксация в поликристаллическом молибдене, тантале и иридии при высоких температурах и низких частотах. [c.232]

В число веществ, полученных в виде кристаллов, входят вольфрам, рений, молибден и тантало-ниобиевые и молибдено-рениевые сплавы [86]. В качестве исходных материалов необходимо иметь поликристаллические стержни высокой плотности. Если плотность стержня недостаточна или если велико газовы-деление, то трудно поддерживать зону. [c.226]

Растворенный в молибдене азот, даже если он присутствует,, в ничтожных количествах (несколько тысячных про цента), сообщает металлу хрупкость, как это наблюдается на молибденовой проволоке, обработанной азотом при высоких температурах. Это действие азота сильнее сказывается на проволоке поликристаллического строения, легче вступающей во взаимодействие с азотом, чем на проволоке из монокристалла. Растворенный в молибдене азот может быть удален нагревом металла в вакууме (0,001 мм рт. ст.) при 1760° в течение времени, линейно зависящего от толщины металла. [c.460]

Наличие дислокаций и плоских дефектов в реальных кристаллах сильно сказывается на механических свойствах твердых тел. Однако это отнюдь не означает, что монокристаллы вещества по прочности всегда будут превосходить его поликристаллические конгломераты. Все будет зависеть от степени взаимодействия дислокаций и плоских дефектов с другими дефектами твердого тела. Так, монокристаллы чистого железа очень пластичны, в то время как стали, имеющие блочную структуру, проявляют прочность в сотни раз большую за счет взаимодействия дислокаций с примесными дефектами. Междоузельные примесные дефекты, как правило, затрудняют движение дислокаций, осложняя механическую обработку металлов. В связи с этим при механической обработке высокопрочных металлов, таких, как титан, молибден, бериллий, вольфрам, обычно проводят их тщательную очистку от примесей азота и кислорода. [c.82]

Диффузия молибдена в вольфраме. Согласно наблюдениям [61] в интервале 1533—2260° С молибден в поликристаллическом вольфраме диффундирует примерно в 10 раз быстрее, чем в монокристаллическом. Методом послойного химического анализа образцов, насы-щавщихся молибденом из газообразной смеси МоСЬ с водородом, автор работы [61] нашел, что коэффициенты диффузии подчиняются уравнениям для монокристаллов [c.172]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология