Локальный анализ па масс-спектрометре с искровым источником

Большинство применений масс-спектрометрии с искровым источником ионов относится к определению примесей, находящихся в объеме твердых материалов. Для правильной оценки состава образца необходимо принимать особые предосторожности, чтобы быть уверенным в однородности пробы, поскольку на анализ расходуется небольшое количество веп ества. Эта трудность при работе с искровым разрядом превращается в преимущество метода, если требуется проанализировать образцы сочень ограниченными размерами. К анализу микрообъемов относятся две основные задачи исследование изолированных частиц и локальных неоднородностей. При работе с отдельными частицами, такими, как крошечные кристаллы, усы и стружки, трудности возникают при их подготовке и закреплении. Каждый случай следует рассматривать отдельно в зависимости от типа образца и вида информации, которую предстоит получить. [c.319]

Конфигурация электродов изображена на рис. 9.7. Пространственное разрешение, которое может быть достигнуто при локальном анализе с противоэлектродом, зависит от диаметра проволочки и продолжительности действия искры, В цитируемой работе при каждом анализе образовывался кратер со средней глубиной 0,6 мм и диаметром 1 мм. Этот объем соответствует расходу 4 мг образца. Пробоотбор осуш ествлялся на уровне микроанализа, однако пространственное разрешение было значительно хуже, чем в методе электронно-зондового микроанализа. Тем не менее локальный анализ на масс-спектрометре с искровым источником ионов перспективен, поскольку за один эксперимент позволяет [c.324]

Глубина кратеров, образующихся на поверхности электродов, обычно значительно меньше пх диаметра. Поэтому в принципе применение масс-спектрометра с искровым ионным источником к анализу тонких слоев твердых веществ позволяет получить более высокое пространственное разрешение, чем прн локальном анализе. [c.157]

М.-с. позволяет определять все элементы периодич. системы с чувствительностью 10 г при использовании лазерных источников ионизации м.б. достигнута чувствительность 10 г. При анализе твердых проб м.б. определены примеси, содержание к-рых в 10 ниже содержания осн. элементов. М.-с. широко применяется в анализе особо чистых металлов (Ga, Al, In, Fe, u и др.), полупроводниковых материалов (Si, GaAs, dFe), сплавов на основе Ре, Ni и Zr при произ-ве тонких пленок и порошкообразных в-в, напр, оксидов и и редкоземельных элементов. М.-с. позволяет определять содержание С, N, О, S, Р в сталях, анализировать керамику, стекла, разл. изоляц. материалы, проводить локальный и послойный анализ пробы (локальность по пов-сти до 1 мкм, по глубине до 1 мм), получать сведения о структуре и фазовом составе твердых тел. Для определения элементов используют масс-спектрометры с ионизацией образцов в электрич. дуге, искровом и тлеющем разряде или в индуктивно-связанной аргонной плазме при атм. давлении. [c.663]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология