Электронограф дифракционная камера

Наиболее удачная методика, обеспечивающая одновременно получение пленок высокой чистоты и высокое качество контроля их структуры, заключается в испарении веществ непосредственно в камере электронографа с одновременным и непрерывным наблюдением дифракционной картины. Преимуществом такого метода является возможность изучения в одном эксперименте всех стадий роста на одном и том же месте подложки. Тем самым исключается влияние такого очень важного и часто неконтролируемого фактора, как неоднородность поверхности кристалла-подложки. [c.15]

В экспериментальных работах по изучению эпитаксии с одинаковым успехом используются оба основных метода структурной электронографии — съемки на отражение и на прохождение . В первом случае при малом угле наклона электронного луча к поверхности дифракционная картина создается в результате взаимодействия электронов с поверхностным слоем осажденного вещества. Эта методика не требует отделения осадка от подложки и позволяет вести наблюдение структуры в процессе осаждения. При съемке на просвет могут применяться два метода. В первом методе в качестве подложки используется кристаллический образец в виде тонкой пленки [41, 70], во втором осаждение осуществляется на массивный кристалл, а затем осадок отделяется (например, путем растворения подложки [71]) и переносится в камеру прибора. [c.24]

Дифракционная камера. Дифракционная камера — часть колонны электронографа, в которой располагаются испаритель, ловушка для вымораживания паров, секторное устройство, фотокамера и соединения с вакуумным насосом. Поскольку сектор не позволяет получать на одной электронограмме максимально возможный интервал углов рассеяния, проводят съемки при двух или трех расстояниях сопло — фотопластинка. При съемках на большом расстоянии получают дифракционную картину, начинающуюся при минимальном угле рассеяния (0 = 0щ1п). Максимальные углы рассеяния достигаются только при съемках на коротком расстоянии. [c.148]

Электронографический анализ осуществляется на электронографах — электронно-оптических вакуумных приборах, которые могут работать и как электронные микроскопы, позволяя получать теневые электронно-оптические изображения, хотя их работа в этом режиме имеет вспомогательное значение. К таким приборам, например, относится электронограф ЭГ-100А. По ходу электронного пучка сверху он имеет следующие основные узлы электронную пушку (источник электронов) двойную электромагнитную линзу кристаллодержатель, позволяющий осуществлять различные перемещения образцов по отношению к пучку электронов камеры образцов проекционный тубус фотокамеру с флюоресцирующим экраном для визуальной работы низко- и высоковольтные блоки питания пульт управления. В электронографе имеется устройство для исследования газов и паров различны < веществ. Разрешающая способность прибора позволяет получать раздельные дифракционные максимумы при различии в меж-плоскостном расстоянии на 0,001 А. Наблюдение дифракционной картины производится на флюоресцирующем экране или фотографическим методом. Электронографическая картина различна в зависимости от типа снимаемого объекта точечная электронограмма образуется при съемке монокристаллов на просвет и на отражение кольца на электронограмме образуются при исследовании поликристаллических веществ дуги и кольца — от веществ, имеющих текстуру. [c.106]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология