НИТРИДЫ И ОКСИНИТРИДЫ КРЕМНИЯ

Жидкий кремний не смачивает поверхность нитрида кремния и образует на нем краевой угол 130°. Эти данные согласуются с существующей диаграммой состояния. В результате исследования процесса смачивания материалов системы SisN4 — Si было установлено, что до составов, содержащих до 50% Si , кремний не смачивает данные материалы для составов, содержащих > 70% Si , кремний интенсивно растекается с образованием краевых уг-лов 30° (рис. 1). Следует отметить, что согласно данным работы I3] в сплавах системы SigN4 — Si , содержащих до 50% Si , обнаружено, что основными фазами являются нитрид, оксинитрид кремния и промежуточное соединение типа Si — С — N, а в составах с [c.130]

НИТРИДЫ и ОКСИНИТРИДЫ КРЕМНИЯ [c.83]

Подобно нитриду, оксинитрид кремния может существовать в аморфном состоянии. Попытка описания электронных свойств аморфного оксинитрида предпринята в [64]. [c.90]

Пленок двуокиси кремния (Si02), нитрида кремния (SigN ) и оксинитрида кремния (Si O N ) при низком давлении (LP) и с плазменной активацией (РЕ) из различных газовых смесей [c.68]

Нитрид (81зК4) и оксинитрид кремния (812Н20) являются базисными соединениями при разработке широкого класса современных керамических материалов, перспективных при создании различных устройств, работающих при высоких температурах, больших механических нагрузках, в агрессивных средах, см. обзоры [1- ]. [c.83]

Пленок нитрида кремния и Si N ), гидрогенизированного нитрида кремния (Si N H ) и оксинитрида кремния (Si O N ). [c.106]

В ДОЗУ с УТ 180 нм электрически эквивалентная толщина пленок нитрида и оксинитрида кремния, используемых в качестве диэлектриков конденсаторов, становится настолько тонкой (i =3hm), что ток туннелирования через них превышает допустимый предел (10 А/см ) при используемых напряжениях 1,25 В [8]. [c.145]

Квантовохимические модели некоторых нитридокремниевых керамик будут рассмотрены в главе 5. Здесь же обратимся к изложению основных сведений по электронным свойствам нитридов и оксинитридов кремния в кристаллическом и аморфном состояниях. [c.84]

Авторы работы [81 указывают на преимущества механической прочности карборундовых изделий, содержащих в связке оксинит-рид кремния, перед изделиями на связке только из нитрида кремния. Мы спекли образцы из BN —SI3N4B среде технического азота при температурах 1600—1650° С. В этом интервале температур межатомные связи SigN ослаблены и его окисление до оксинитрида кремния должно проходить легко. [c.123]

МИДЫ 81Кз слои соединены мостиковыми атомами кислорода. По аналогии с нитридом кремния, в качестве структурообразующих полиэдров оксинитрида можно рассматривать искаженные тетраэдры 81МзО, см. рис. 4.6. [c.89]

В настоящее время к керамике относят и бессиликатные композиционные материалы, образованные из различных оксидов, карбидов, силицидов, боридов и нитридов. На основе этих веществ в последние годы созданы материалы, соединяющие в себе высокую термическую и коррозионную устойчивость, хорошую сопротивляемость окислению, замечательную стойкость к тепловым и механическим ударам. Среди них имеются и такие, прочность которых начинает уменьшаться лишь при температуре выше 1400-1600°С. Композиции из оксинитридов алюминия и кремния, имеющие высокую прочность, получают, например, простым прессованием соответствующего порошка при 1700°С. При этом до 65% А12О3 внедряется в кристаллическую решетку 81зК4, благодаря чему материал приобретает ценные свойства. Его можно нагреть до 1200°С и сразу же опустить в холодную воду, но на нем не появится ни трещинки. В сосудах из такого материала можно плавить железо, медь, алюминий и другие металлы. Многообразие веществ, которые могут быть получены в системе кремний-алюминий-азот-кислород, просто поразительно. Здесь возможно почти такое же изобилие различных продуктов, как и в семействе силикатов. [c.257]

Возможность прямого получения тонкодисперсного порошка оксинитрида в плазме показана в работе [199]. Процесс осуществлен на ВЧ-установке. В качестве исходных материалов применялись измельченный кремний с размерами частиц 40—63 мкм, его диоксид с размерами частиц 20—50 мкм и азот особой чистоты. Продукт, содержавший 0,006—0,013 массовой доли свободного кремния, до 0,278 азота и 0,154 кислорода, удалось получить только за счет дополнительной подачи азотсодержащего закалочного газа в зону существования паров исходных веществ при соотношениях между закалочным и плазмообразующим газами, больших 0,45. Это высоко дисперсный порошок с удельной поверхностью 36 — 47 м /г и размерами частиц в пределах 0,01—0,1 мкм. Прокаливание его при 1450 °С в течение 5—6 ч в среде азота приводит к частичному разложению 8120К2 и образованию нитрида кремния п 8102. [c.333]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология