Оксинитрид кремния

Жидкий кремний не смачивает поверхность нитрида кремния и образует на нем краевой угол 130°. Эти данные согласуются с существующей диаграммой состояния. В результате исследования процесса смачивания материалов системы SisN4 — Si было установлено, что до составов, содержащих до 50% Si , кремний не смачивает данные материалы для составов, содержащих > 70% Si , кремний интенсивно растекается с образованием краевых уг-лов 30° (рис. 1). Следует отметить, что согласно данным работы I3] в сплавах системы SigN4 — Si , содержащих до 50% Si , обнаружено, что основными фазами являются нитрид, оксинитрид кремния и промежуточное соединение типа Si — С — N, а в составах с [c.130]

НИТРИДЫ и ОКСИНИТРИДЫ КРЕМНИЯ [c.83]

Подобно нитриду, оксинитрид кремния может существовать в аморфном состоянии. Попытка описания электронных свойств аморфного оксинитрида предпринята в [64]. [c.90]

Нитрид (81зК4) и оксинитрид кремния (812Н20) являются базисными соединениями при разработке широкого класса современных керамических материалов, перспективных при создании различных устройств, работающих при высоких температурах, больших механических нагрузках, в агрессивных средах, см. обзоры [1- ]. [c.83]

Пленок двуокиси кремния (Si02), нитрида кремния (SigN ) и оксинитрида кремния (Si O N ) при низком давлении (LP) и с плазменной активацией (РЕ) из различных газовых смесей [c.68]

Пленок нитрида кремния и Si N ), гидрогенизированного нитрида кремния (Si N H ) и оксинитрида кремния (Si O N ). [c.106]

Пленки оксинитрида кремния обычно используются в составе межслойных диэлектриков (1LD) и в слоях финишной пассивации. Двухслойные системы из пленок SiO N и Si N H применяются для планаризации межслоевых соединений, используя разную скорость [c.132]

В ДОЗУ с УТ 180 нм электрически эквивалентная толщина пленок нитрида и оксинитрида кремния, используемых в качестве диэлектриков конденсаторов, становится настолько тонкой (i =3hm), что ток туннелирования через них превышает допустимый предел (10 А/см ) при используемых напряжениях 1,25 В [8]. [c.145]

Оксинитрид кремния (Si20N2) является хорошим огнеупорным материалом с высокой термической и коррозионной стойкостью. Применяется для изготовления сопел и лопаток газовых турбин и в качестве керамической связки при изготовлении абразивных кругов из карборунда. Получаемый обычными методами порошок грубодисперсный, мало пригоден для приготовления изделий с низкой Иористостью. [c.333]

Квантовохимические модели некоторых нитридокремниевых керамик будут рассмотрены в главе 5. Здесь же обратимся к изложению основных сведений по электронным свойствам нитридов и оксинитридов кремния в кристаллическом и аморфном состояниях. [c.84]

О -сиалоны формируются на основе орторомбического оксинитрида кремния при одновременном замещении в тетраэдрах SiNзO (базисного структурного фрагмента исходной фазы 812М20) и Сложность кристаллической структуры [c.101]

Оценки энергетических эффектов замещения А1 —> 81 и О —> N в оксинитриде кремния при образовании О -фазы показали [26, 27], табл. 5.1, что наиболее вероятна парная локализация атомов кислорода около атомов А1, осуществляемая таким образом, что мостиковая позиция, занятая кислородом в 812К20, занимается атомом N. Переход нары атомов кислорода в координационный полиэдр кремния приводит к некоторому уменьшению устойчивости системы. В то же время при сохранении мостикового кислорода локализация второго атома кислорода вблизи 81 либо А1 не ведет к заметным изменениям энергии системы, что предполагает [c.101]

При легировании подрешетки кремния 812К20 5,р-примесями с увеличением их порядкового номера (по группе) наблюдается резкое уменьшение доли ковалентности в химическом связывании примеси с атомами своего координационного полиэдра, что сопровождается существенными изменениями характера межатомных взаимодействий катионов кремния ковалентность 81— О-связи резко возрастает с одновременным ослаблением связей 81—М, что в целом будет определять общее уменьшение стабильности данных систем в сравнении с исходным оксинитридом кремния. [c.105]

Авторы работы [81 указывают на преимущества механической прочности карборундовых изделий, содержащих в связке оксинит-рид кремния, перед изделиями на связке только из нитрида кремния. Мы спекли образцы из BN —SI3N4B среде технического азота при температурах 1600—1650° С. В этом интервале температур межатомные связи SigN ослаблены и его окисление до оксинитрида кремния должно проходить легко. [c.123]

Оксинитрид кремния SizONj устойчив против расплавленного криолита. [c.155]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология