Справочник химика 21

Химия и химическая технология

Статьи Рисунки Таблицы О сайте English

Ионизационные насосы

    В хорошо собранной системе, смонтированной надлежащим образом, прогревание фактически снимает остаточные напряжения в стекле. Однако этот период является наиболее опасным в работе с ультравысоким вакуумом, ибо любое соприкосновение с атмосферой при 450° в результате жестких условий окисления может привести к разрушению металлических частей системы. Если установка растрескивается при нагревании, то это обычно может быть следствием либо чрезмерно жесткой сборки, либо нарушения регулировки температуры. Если даже это и случится, то еще можно избежать сильного разрушения путем быстрого наполнения печи инертным газом (N2 или Аг) и снижения температуры. Эту опасность не следует переоценивать. Линии, использовавшиеся в лаборатории автора для исследования автоэлектронной эмиссии, подвергались нагреванию по крайней мере 60 раз в год и все же ни разу не наблюдалось разрушение такого типа. После выдерживания при температуре нагревания не менее 6 час печи ловушек опускали и еще спустя 1 час начинали охлаждение жидким азотом. Одновременно медленно охлаждали печь, температура которой достигала 100° через 4 час. После этого печь удаляли и выключали нагревательные обмотки на ловушках. Если давление при этом оказывалось ниже 5.10" мм рт. ст., начинали немедленное обезгаживание металлических частей при еще горячих стеклянных частях установки. Манометры прогреваются либо электронной бомбардировкой, либо индукционной катушкой. Электронная бомбардировка удобна, поскольку она не требует размещения тяжелой аппаратуры вокруг системы. Однако для сильно загрязненной системы электронная бомбардировка не достаточно эффективна. Поэтому при первичном испытании системы, а также когда следует подавить образование металлических пленок на стенках манометра, предпочтительнее использовать радиочастотное нагревание. Схема маломощного радиочастотного генератора, пригодного как для обезгаживания обратного ионизационного насоса, так и для обезгаживания насоса Шульца высокого давления, приведена на рис. 73. [c.261]


    Дифференциальная система откачки позволяет значительно повысить давление анализируемого газа в источнике ионов, не повышая существенно давления в камере анализатора. Баллоны 2 служат для улавливания паров ртути, попадающих из диффузионных насосов в форвакуумную систему. Конденсирующаяся ртуть стекает из баллонов обратно в насосы, В вакуумной системе используются также два магнитно-ионизационных насоса 11 (МИН ), которые отделяются от системы вентилями [c.13]

    Канал измерения давления и вакуумной блокировки состоит из блока измерения давления и вакуумной блокировки в стойке аналитической части, блока автономного питания магнитно-ионизационных насосов и блока измерения давления в стойках напуска. [c.16]

    Магнитно-ионизацИонный насос (рис. 78) предназначен для поддержания высокого вакуума в масс-спектрометрах в нерабочие периоды (при отключенном электропитании). Может быть использован также для дополнительной откачки во время работы масс-спектрометра. [c.95]

    Ионизационный манометр одновременно является ионизационным насосом, так как при работе манометра наблюдается сорбция ионов газа. Поэтому его показания зависят от объема вакуумной системы, скорости откачки газа и места расположения в системе. Для устранения этого недостатка предложено в некоторых случаях устанавливать манометр между насосом и откачиваемой системой при этом он, с одной стороны, будет способствовать более быстрому откачиванию газа из системы и, с другой стороны, его показания будут более соответствовать истинному давлению в системе. [c.408]

    Электронная откачка и ионизационные насосы......210 [c.175]

    Электронная откачка и ионизационные насосы. Если скорость ионов газа в направлении к поверхности твердого тела увеличивается приложением электрического поля, то вероятность их внедрения в решетку [c.210]

    Удаление загрязняющих газов. Идеальная система отличается тем, что посторонние газы в ней не появляются. Хотя теоретически это и возможно, но из доступных в настоящее время материалов нет ни одного, относительно которого можно было бы утверждать, что он не является источником выделения газов. Поэтому мы должны рассмотреть вопрос о том, как удалять загрязняющие газы, образовавшиеся в вакуумной установке. Для этой цели можно применять эффективные вакуумные насосы, ионизационные насосы, ловушки с охлаждением и газопоглотители. [c.201]

    Некоторые устройства, входящие в состав масс-спектрометров единой серии, могут быть использованы в аналитических приборах других типов и в смежных областях техники. К таким устройствам, в частности, относятся счетчик ионов для измерения весьма малых ионных токов (до 2-10а), магнитно-ионизационные насосы, высокоэффективные источники ионов и т. д. [c.10]


    Ионизационный мапометр одновременно является ионизационным насосом, так как при работе манометра наблюдается сорбция ионов газа. Поэтому его показания зависят от объ- Рис. ХП.41. Схема ема вакуумной системы, скорости откачки газа включения ионпзаци-и места расположения в системе. Для устра- онного манометра, нения этого недостатка в некоторых случаях [c.363]


Смотреть страницы где упоминается термин Ионизационные насосы: [c.96]    [c.96]   
Технология тонких пленок Часть 1 (1977) -- [ c.210 , c.212 ]




ПОИСК







© 2024 chem21.info Реклама на сайте