Покрытия металлические, полученные осаждение из газовой фазы

Осаждение металлов из газовой фазы обеспечивает покрытиям такие свойства, благодаря которым они отличаются от покрытий, получаемых другими методами обладают максимально высокой степенью чистоты, отсутствием окислов, минимальной толщиной, блестящей поверхностью и осаждаются непосредственно как на металлические, так и на неметаллические материалы. Можно получать покрытия с использованием металлов, которые не могут осаждаться из растворов или расплавов из-за чрезмерно высокой точки плавления или избыточной скорости окисления во время плавления. Осаждение производится в вакуумной среде. Металлическое покрытие наносится в камере, из которой выкачивается воздух. [c.102]

Пленки, получаемые химическим осаждением, можно разделить на две группы 1) получаемые из паровой или газовой фазы и 2) получаемые из раствора. Из паровой или газовой фазы получают высокоомные пленки для резисторов и полупроводниковые пленки с заданным типом проводимости и структуры, из раствора — металлические покрытия на диэлектриках и фосфатные изоляционные и грунтовые пленки на металлах. [c.56]

Металлические покрытия были получены разложением ацетилацетоната кобальта в сухом водороде в качестве газа-носителя при атмосферном давлении. Температура испарителя 140—150° С, температура подложки 325 — 340 С, температура паровой фазы 150 — 170" С и скорость газового потока 1,2 — 2,8 л/мин [41, 522]. Эти условия осаждения являются оптимальными, так как приводят к получению тонкой металлической пленки, имеющей магнитные свойства монолитного кобальта. Однако их следует рассматривать оптимальными лишь при использовании данной конструкции установки. За 8—10 мин. осаждения на стеклянной подложке была выращена пленка толщиной 0,6 мкм. Авторы отмечают, что ими получены также пленки толщиной 1,47 мкм. Адгезия пленок па стекле была плохой из-за различия в коэффициентах термического расширения кобальта и стекла. Пленки кобальта не обладали очевидной магнитной или механической анизотропностью в отличие от пленок, полученных вакуумным напылением или электрохимическим осаждением, которые обычно являются анизотропными. Присутствие некоторого количества водорода при осаждении является необходимым для получения качественных блестящих покрытий из ацетилацетоната кобальта. Хотя обычно разложение проводят при нормальном давлении, осаждение в вакууме при давлении ниже 1 мм рт. ст. имеет преимущества вследствие уменьшения возможности температурных колебаний и уменьшения тенденции образования порошковых покрытий, обусловленных разложением соединений в объеме. [c.288]

Основным преимуществом данного метода металлизации является очень большая скорость осаждения металлов. Например, в течение 3—5 сек можно получить никелевое хЛкрытие толщиной 25 мк. Металлические покрытия отличаются высокой плотностью и исключительной чистотой. Этим методом с одинаковым успехом можно металлизировать как наружные, так и внутренние поверхности изделий. Нанример, он применяется для внутренней металлизации труб из материалов с высокой термостойкостью. Широкому распространению метода металлизации из газовой фазы препятствует то, что он требует довольно сложной и дорогой аппаратуры. [c.141]