Получение изображения в рентгеновском излучении при сканировании

ПОЛУЧЕНИЕ ИЗОБРАЖЕНИЯ В РЕНТГЕНОВСКОМ ИЗЛУЧЕНИИ ПРИ СКАНИРОВАНИИ [c.296]

МОЖНО менять обычным образом. Отдельные микроснимки всех представляющих интерес элементов в пределах области сканирования могут быть совмещены для получения полной картины распределения элементов. Подробное обсуждение метода получения изображения в рентгеновском излучении при сканировании по площади содержится в [114]. [c.298]

Пример информации, получаемой в рентгеновском излучении с помощью системы с дисперсией по энергии, приведен на рис. 6.16. Образец представлял собой композиционный материал, состоящий из вольфрамовой проволоки, погруженной в расплав алюминия при температуре 1100°С в вакууме 10 торр. Изображения в рентгеновском излучении при сканировании по площади демонстрируют отсутствие А1 в или Ш в А1. Микроснимки были получены с помощью РЭМ при ускоряющем напряжении 20 кВ и величине тока образца 10 ° А время экспозиции каждого снимка составляло 12 мпн. Изображение, приведенное на рис. 6.16, можно было бы успещно сравнивать с подобными результатами, полученными с помощью системы с дисперсией по длинам волн, однако время и усилия, затрачиваемые на получение микроснимков (рис. 6.16), в случае системы с дисперсией по длинам волн были бы значительно меньше. [c.300]

Из-за требования, согласно которому в системе с дисперсией по длинам волн источник рентгеновского излучения должен находиться точно на круге фокусировки Роуланда, сканирование по большой площади может приводить к падению интенсивности излучения на краях области сканирования. Это явление проявляется заметнее с повышением разрешения кристалл-дифракционного спектрометра. Одним из способов контроля, насколько серьезно падение интенсивности рентгеновского излучения, является получение изображений в рентгеновских лучах образца из чистого элемента для различных размеров растра. Это может быть выполнено в каждом спектрометре для каждого кристалла. К счастью, такие связанные с фокусировкой трудности отсутствуют в системе с дисперсией по энергии, которая позволяет рассматривать большую площадь образца даже при коллимации (рис. 5.41, гл. 5). [c.300]

Метод получения изображения рентгеновском излучении при сканировании по площади представляет по существу растровый рентгеновский микроскоп. Усиленный сигнал от детекторной системы—спектрометра с дисперсией по энергии или кристалл-дифракционного спектрометра — используется для модуляции яркости электронно-лучевой трубки (ЭЛТ), которая сканируется синхронно с электронным пучком. Таким образом, изображение на экране ЭЛТ получают за счет изменения интенсивности рентгеновского излучения с поверхности образца. Здесь используется такая же система развертки с регулировкой увеличения и такой же усилитель, что и в растровом электронном микроскопе (гл. 4). Электронный пучок может сканировать по линии в направлениях X или У и давать распределение рентгеновского излучения по линии. Пример типичного сканирования по линии для Со и Сг по поверхности окисленного высокотемпературного сплава приведен на рис. 5.14 (гл. 5). Электронный пучок можно, конечно, развертывать и по площади н получать изображение в рентгеновских лучах. Изображение в рент-геповски.х лучах при сканировании по площади может содержать тона от черного до белого в зависимости от условий эксперимента. Места с высокой концентрацией исследуемого элемента в пределах области сканирования будут на изображении почти белыми, серыми, когда концентрация элемента ниже, и черными всюду, где элемент отсутствует. Пример, иллюстрирующий результаты исследования руды, приведен на рис. 6.15. [c.296]

Хотя качество изображения можно улучшить, уменьшая число элементов изображения, увеличивая время счета импульсов и ток электронного зонда, однако с учетом статистического характера генерации рентгеновского излучения все еще трудно получить сигнал, адекватный для передачи градаций серого на изображении. Иными сло-вами, при фиксированном времени набора данных оператор должен иметь в виду расхождение между требованиями высокой точности регистрации сигнала и желанием иметь информацию о его пространственном распределе-нпи, получаемую при сканировании по линии или по площади. Еще одна особенность, которая характерна для всех режимов анализа, заключается в том, что поскольку объем области возбуждения рентгеновского излучения значительно превышает размеры источника вторичных электронов, бессмысленно пытаться локализовать и получать количественную информацию о химическом составе субмнкронных структурных деталей в массивном образце. Некоторые примеры использования метода получения изображений в рентген01вских лучах приведены в гл. 6. [c.210]

Растровая электронная микроскопия включает сканирование, или получение растра (получение изображения разверткой) поверхности материала с использованием сигналов, создаваемых вторичными отраженными электронами [60, 169, 170]. На рис. 4.14 приведены микрофотографии, полученные при использовании этого метода [15, 49, 60, 167]. Этот метод используют для фиксации неоднородностей поверхностей на микрометровом и субмикрометровом уровнях. При облучении микроповерхности (микрообъема) тонко сфокусированным электронным пучком возникают сигналы следующих видов вторичные электроны, отраженные электроны, Оже-электроны, характеристическое рентгеновское излучение (Х-излучение) и фотоны различных энергий. Объемность объекта фиксируется за счет большой глубины фокуса микроскопа и эффекта оттенения рельефа контраста во вторичных электронах. [c.148]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология